[发明专利]感光性树脂组合物、感光性薄膜、肋图案的形成方法、中空构造及其形成方法以及电子零件有效
| 申请号： | 201510362448.2 | 申请日： | 2011-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN104950579B | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 加藤祯明;龟井淳一 | 申请（专利权）人： | 日立化成工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/027 | 分类号： | G03F7/027;G03F7/004;C08F2/48 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 张楠;陈建全 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种耐湿热性优良、固化物在高温下具有高的弹性模量、中空构造保持性也优良的感光性树脂组合物、以及使用了该组合物的感光性薄膜、肋图案的形成方法、中空构造及其形成方法以及电子零件。本发明的感光性树脂组合物是在具有中空构造的电子零件中作为形成上述中空构造的肋材或盖材使用的感光性树脂组合物，其含有：(A)具有至少一个烯键式不饱和基团的光聚合性化合物和(B)光聚合引发剂。本发明还提供由该感光性树脂组合物得到的感光性薄膜。作为(A)成分，使用丙烯酸酯化合物或甲基丙烯酸酯化合物，具体地，使用含有酰胺键的丙烯酸酯化合物或甲基丙烯酸酯化合物、或含有氨基甲酸酯键的丙烯酸酯化合物或甲基丙烯酸酯化合物。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 薄膜 图案 形成 方法 中空 构造 及其 以及 电子零件 | ||
【主权项】：
一种感光性树脂组合物，其含有：(A)具有至少一个烯键式不饱和基团的光聚合性化合物、(B)光聚合引发剂以及(C)无机填料，其中，所述(C)无机填料含有平均长宽比为30～100、并且体积平均粒径为5～50μm的无机填料。
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