[发明专利]一种靶材解绑装置在审
| 申请号： | 201510360031.2 | 申请日： | 2015-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN106319458A | 公开（公告）日： | 2017-01-11 |
| 发明（设计）人： | 王波;祝令建;彭侃 | 申请（专利权）人： | 汉能新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100101 北京市朝阳*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种靶材解绑定装置，针对使用导电胶进行绑定的靶材，使用溶胀剂进行解绑。该靶材解绑定装置包括解绑容器3、集渣斗4、滤网5、管道6和溶胀剂储罐7。通过该装置对导电胶绑定的靶材进行解绑，一方面可以无损的将废靶材与背板分离，从而提高背板的回收利用率。另一方面通过集渣斗对导电胶渣质进行富集，以便于能够有效的对贵金属导电颗粒进行回收。该靶材解绑定装置同时实现了溶胀剂的自动循环使用进一步降低了靶材重复回收利用的成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 靶材解绑 装置 | ||
【主权项】：
一种靶材解绑定装置，其包括解绑容器3、集渣斗4、滤网5、管道6和溶胀剂储罐7；所述解绑容器3用于存储溶胀剂1及靶材2；解绑容器3下部具有溶胀剂出口，并连接有集渣斗4，集渣斗4下部搁置有滤网5用于富集胶残渣；滤网5下部出口连接有管道6，通过管道6连接至溶胀剂储罐7的入口；溶胀剂储罐7上部设置有出口，使溶胀剂1经过管道6进入到解绑容器3；从而形成了溶胀剂在整个解绑定装置中能够循环使用。
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