[发明专利]一种靶材解绑装置在审
| 申请号： | 201510360031.2 | 申请日： | 2015-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN106319458A | 公开（公告）日： | 2017-01-11 |
| 发明（设计）人： | 王波;祝令建;彭侃 | 申请（专利权）人： | 汉能新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100101 北京市朝阳*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 靶材解绑 装置 | ||
【说明书】：
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于汉能新材料科技有限公司，未经汉能新材料科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201510360031.2/2.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：钨钛管靶的制造方法
- 下一篇：一种金属薄膜溅射的PVD工艺
- 同类专利
- 专利分类
