[发明专利]靶材组件的加工方法

摘要

本发明提供一种靶材组件的加工方法，所述方法包括：提供溅射靶材组件，所述溅射靶材组件包括靶材背板，所述靶材的材料含铝；对所述靶材背板的表面进行车削工艺后，对所述车削工艺后的靶材背板的表面进行至少两次抛光工艺。通过该抛光工艺，封闭所述靶材背板表面毛孔，使所述靶材背板在自然条件下具备抗氧化作用，从而避免因靶材背板氧化引起的所述靶材背板导电率下降问题，进而避免在溅射过程中所述溅射靶材发生异常放电或断电现象，保证了溅射靶材的质量。

主权项

1.一种靶材组件的加工方法，其特征在于，包括：提供靶材组件，所述靶材组件包括靶材背板，所述靶材背板的材料含铝；对所述靶材背板的表面进行车削工艺；对车削后的靶材背板的表面进行至少两次抛光工艺，以封闭所述靶材背板表面毛孔，使靶材背板在自然条件下具备抗氧化作用；所述至少两次抛光工艺包括三次抛光，第一次抛光为粗抛光，第二次抛光为细抛光，第三次抛光为精抛光；所述粗抛光工艺采用的粗抛光件为筛孔尺寸为200目至400目的背绒砂纸，靶材背板的转速为300转/分钟至600转/分钟，所述粗抛光件相对于靶材背板的线速度为3000毫米/分钟至5000毫米/分钟，工艺时间为3分钟至5分钟；所述细抛光工艺采用的细抛光件为筛孔尺寸为400目至600目的背绒砂纸，靶材背板的转速为300转/分钟至600转/分钟，所述细抛光件相对于靶材背板的线速度为3000毫米/分钟至5000毫米/分钟，工艺时间为5分钟至10分钟；所述精抛光工艺采用的精抛光件为筛孔尺寸为600目至1000目的背绒砂纸，靶材背板的转速为300转/分钟至600转/分钟，所述精抛光件相对于靶材背板的线速度为3000毫米/分钟至5000毫米/分钟，工艺时间为3分钟至5分钟。