[发明专利]硅片吸盘

摘要

本发明涉及一种硅片吸盘，其包括：至少一个安装通孔，该安装通孔由该硅片吸盘的第一表面延伸至与该第一表面相对的第二表面；至少一个阶梯销，该阶梯销被设置在安装通孔内；以及至少一个复位弹簧，该复位弹簧套在阶梯销上。此外，本发明还涉及一种硅片检测设备，其包括上述的硅片吸盘。根据本发明的硅片吸盘采用了纯机械结构，其结构简单、重量较轻、制造成本低并且使用方便。

主权项

1.一种硅片吸盘，其包括：至少一个安装通孔，所述安装通孔由所述硅片吸盘的第一表面延伸至与所述第一表面相对的第二表面；至少一个阶梯销，所述阶梯销被设置在所述安装通孔内；以及至少一个复位弹簧，所述复位弹簧被设置在所述安装通孔内并且套在所述阶梯销上，其中，所述硅片吸盘被固定在底座上；其中，当所述硅片吸盘处于第一状态时，所述阶梯销的第二端被所述底座顶起，所述复位弹簧被压缩，并且所述阶梯销的第一端以第一高度高出所述硅片吸盘的所述第一表面；其中，当所述硅片吸盘处于第二状态时，所述复位弹簧复位，所述阶梯销的所述第一端不高于所述硅片吸盘的所述第一表面，并且所述阶梯销的所述第二端以第二高度低于所述硅片吸盘的所述第二表面。