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[发明专利]静电偏转器-CN202211630794.0在审
发明人：罗浒;屈俊健 -专利权人：上海精测半导体技术有限公司
申请日： 2022-12-16 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： H01J37/147 文献下载
摘要：本公开提供了一种静电偏转器，该静电偏转器包括偶数个电极组，每个电极组包括m个电极和导电连接部，m个电极连接于导电连接部，m为大于或等于2的整数。该静电偏转器能够简化导线连接，可以降低因导线虚焊、虚接或折断而导致静电偏转器失灵的风险，提高可靠性。
静电偏转

[发明专利]微位移装置及方法、光路调节设备及微位移装置的应用-CN202011451504.7在审
发明人： 屈俊健 -专利权人：上海精测半导体技术有限公司
申请日： 2020-12-10 - 公布日： 2021-03-26 - 主分类号： G02B7/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种微位移装置及方法、光路调节设备及微位移装置的应用，其中，微位移装置包括侧部形成一开口的壳体；容置于所述壳体内的移动件，且所述移动件与所述壳体之间滑动连接；以及，驱动机构，所述壳体形成有供所述驱动机构伸入至壳体中空腔室内以与所述移动件连接的限位槽，所述驱动机构配置成驱动所述移动件沿所述限位槽内沿的第一方向移动或第二方向移动。本发明解决现有技术中微位移平台体积较大而无法安装到空间高度有限的应用场景中的问题。
位移装置方法调节设备应用

[发明专利]硅片吸盘-CN201510323807.3有效
发明人： 屈俊健 -专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
申请日： 2015-06-12 - 公布日： 2019-02-19 - 主分类号： H01P1/10 文献下载
摘要：本发明涉及一种硅片吸盘，其包括：至少一个安装通孔，该安装通孔由该硅片吸盘的第一表面延伸至与该第一表面相对的第二表面；至少一个阶梯销，该阶梯销被设置在安装通孔内；以及至少一个复位弹簧，该复位弹簧套在阶梯销上。此外，本发明还涉及一种硅片检测设备，其包括上述的硅片吸盘。根据本发明的硅片吸盘采用了纯机械结构，其结构简单、重量较轻、制造成本低并且使用方便。
硅片吸盘

[发明专利]真空吸盘-CN201410370001.5有效
发明人： 屈俊健;周广梅 -专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
申请日： 2014-07-30 - 公布日： 2018-01-12 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：一种真空吸盘，包括吸盘本体和气体通道，气体通道包括位于吸附表面上的至少两组同心圆槽和位于吸盘本体内部的至少两条径向气道，每组同心圆槽具有至少两条同心圆槽，每两组相邻的同心圆槽之间设有隔离区，每组同心圆槽之间在对应径向气道的位置设有至少一个径向沟槽以使该组的同心圆槽相互连通，在径向气道和径向沟槽之间至少设有一个垂直气孔以使径向气道与同心圆槽相连通，至少两条径向气道在内端相互连通，在外端一个连接真空接头另一个适于接收与所吸附的硅片规格相对应规格的密封塞，以通过控制对径向在外的垂直气孔的堵塞来控制径向在外的至少一组同心气槽与真空接头的连通来实现对不同硅片的吸附。本发明结构加工简单、对硅片吸附效果好。
真空吸盘

[发明专利]具有水平调整功能的吸盘装置以及安装方法-CN201610414477.3在审
发明人： 屈俊健 -专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
申请日： 2016-06-13 - 公布日： 2017-12-19 - 主分类号： F16B47/00 文献下载
摘要：本发明提供了具有水平调整功能的吸盘装置以及安装方法，其中的吸盘装置包括吸盘、吸盘底座、多个第一螺钉和至少一个第二螺钉；吸盘上设置有多个螺纹通孔；吸盘底座上设置有至少一个螺纹孔；多个第一螺钉分别与吸盘上相应的螺纹通孔螺合，且螺合于螺纹通孔中的第一螺钉的上表面低于吸盘的上表面，通过调整各第一螺钉旋入螺纹通孔的深度使吸盘的上表面处于水平状态；至少一个第一螺钉上设置有通孔，且该通孔的中心线与第一螺钉的中心线重合；第二螺钉通过该的通孔与吸盘底座上的螺纹孔螺合，使吸盘固定在吸盘底座上。本发明提供的技术方案能够方便快捷的使吸盘的上表面处于高精度的水平状态，且该吸盘装置还具有易用性强以及水平精度高等特点。
具有水平调整功能吸盘装置以及安装方法

[发明专利]一种用于X射线成像的逐点扫描装置和方法-CN201080069396.5在审
发明人： 屈俊健;梁石磊;周晓丽;仇晨东 -专利权人：上海英迈吉东影图像设备有限公司
申请日： 2010-09-30 - 公布日： 2014-03-19 - 主分类号： G01N23/04 文献下载
摘要：一种用于X射线成像的逐点扫描装置，主要包括：射线源（13）和射线源准直器（14），一旋转机构（15），所述射线源准直器（14）位于所述射线源（13）的出束窗口，所述旋转机构（15）和所述射线源（13）相连，带动所述射线源（13）转动。另外，一种用于X射线成像的逐点扫描方法，包括以下步骤：一旋转机构（15）带动射线源（13）旋转；射线源（13）产生射线；所述射线从出束窗口经过所述射线源准直器（14）射出，落在被检物体上；落在所述被检物体上的所述射线随时间移动，形成逐点扫描。
一种用于射线成像扫描装置方法

[发明专利]一种基于背散射成像的外挂式移动检查系统-CN201110178364.5有效
发明人： 屈俊健 -专利权人：上海英迈吉东影图像设备有限公司
申请日： 2011-06-29 - 公布日： 2013-01-02 - 主分类号： G01V5/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于背散射成像的外挂式移动检查系统，包括：运输工具；贯穿辐射源，所述贯穿辐射源设置于所述运输工具内；处理器，用于进行成像处理；散射探测器，所述散射探测器与所述处理器电连接，所述散射探测器用于吸收从被测物体散射的射线信号，并将所述射线信号发送至所述处理器进行处理；空间调制器，用于控制所述贯穿辐射源的射线轮廓；所述散射探测器位于所述运输工具的外侧。相对于现有的移动式x射线反向散射检查车，本发明改变了散射探测器的位置，将散射探测器由内置于运输工具中变为设置在运输工具的外侧，当安装散射探测器或者对散射探测器进行维修时，便于工人操作。
一种基于散射成像外挂式移动检查系统

[实用新型]一种利用电子偏转形成飞点的装置-CN201220196634.5有效
发明人： 屈俊健;梁石磊;王国岭 -专利权人：上海英迈吉东影图像设备有限公司
申请日： 2012-05-04 - 公布日： 2012-12-19 - 主分类号： G01N23/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种利用电子偏转形成飞点辐射的装置，所述装置包括：X射线源，所述X射线源具有偏转线圈，所述偏转线圈的磁场对阴极发射的电子进行偏转形成偏转电子，所述偏转电子落在阳极靶点上形成X射线束；针孔装置，所述针孔装置对所述X射线束进行透射形成飞点；所述针孔装置包括一用于对扇形X射线束进行准直并对所述扇形X射线束进行透射得到笔形射线束的具有细长槽的针孔部分。本实用新型实施例使得飞点的移动速度不受机械运动的限制，理论上可以达到光速，提高了利用飞点扫描的效率。
一种利用电子偏转形成装置

[实用新型]一种具备放射性物质检查功能的安检系统-CN201220196632.6有效
发明人： 屈俊健;冉现瑞;王国岭 -专利权人：上海英迈吉东影图像设备有限公司
申请日： 2012-05-04 - 公布日： 2012-11-14 - 主分类号： G01V5/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种具备放射性物质检查功能的安检系统，所述系统包括放射性检查模块、隔离模块、输送机、贯穿X射线源、射线探测器和处理模块；所述放射性检查模块，位于输送机之输送带的一端，用于检查放射性物质；所述隔离模块，位于放射性检查模块与X射线源之间。该系统克服现有技术放射性物质检查与X射线检查分开的特点从而导致现有安检方法或系统安全检查的效率低下的问题。
一种具备放射性物质检查功能安检系统

[实用新型]一种实现单源多视角旋转扫描的安检设备-CN201120344607.3有效
发明人：王国岭;屈俊健;吴修东;周晓丽;冉现瑞;邓兆卓 -专利权人：上海英迈吉东影图像设备有限公司
申请日： 2011-09-14 - 公布日： 2012-09-19 - 主分类号： G01N23/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种实现单源多视角旋转扫描的安检设备，用于安检领域，包括：支撑装置；可旋转地支撑在支撑装置上的旋转装置；射线发生装置，设置在旋转装置上以产生透射被测对象的射线束；探测装置，固定在旋转装置上以探测透射通过所述被测对象的X射线作为投影数据；驱动装置与旋转装置连接以驱动旋转装置使其按扫描指令进行旋转，并驱动传送装置使被测对象作往复直线运动；数据处理装置，用于与探测装置通过通信接口进行通信，接收从所述探测装置传输的所述投影数据，以重建被测对象的图像。从而通过简单的机构完成360度内多视角全方位的定位扫描，快速重建被测物体图像。
一种实现单源多视角旋转扫描安检设备

[发明专利]一种利用电子偏转形成飞点的系统和方法-CN201210137390.8无效
发明人： 屈俊健;梁石磊;王国岭 -专利权人：上海英迈吉东影图像设备有限公司
申请日： 2012-05-04 - 公布日： 2012-08-22 - 主分类号： G01N23/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种利用电子偏转形成飞点辐射的系统和飞点扫描方法，所述系统包括：X射线源，所述X射线源具有偏转线圈，所述偏转线圈的磁场对阴极发射的电子进行偏转形成偏转电子，所述偏转电子落在阳极靶点上形成X射线束；针孔装置，所述针孔装置对所述X射线束进行透射形成飞点。本发明实施例使得飞点的移动速度不受机械运动的限制，理论上可以达到光速，提高了利用飞点扫描的效率。
一种利用电子偏转形成系统方法

[实用新型]一种实现货物称重的安检设备-CN201120437008.6有效
发明人： 屈俊健;仇晨东;梁石磊;王国岭 -专利权人：上海英迈吉东影图像设备有限公司
申请日： 2011-11-07 - 公布日： 2012-08-01 - 主分类号： G01V5/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种实现货物称重的安检设备，用于安全检查技术领域，所述安检设备包括：射线源、称重输送机、探测器、处理模块，其中，所述射线源，位于货物邮包一侧，用于产生贯穿辐射；探测器，位于货物邮包的另一侧，用于接收接收辐射后产生的射线；称重输送机，位于所述射线源和探测器之间，用于输送邮包并进行称重；处理模块，至少和探测器相连，用于根据所接受的信号确定被测邮包中物体的特性。从而通过一种结构简单的安检设备，实现对邮包进行X射线检查的同时进行称重，从而提高了工作效率。
一种实现货物称重安检设备

[发明专利]X射线飞点的形成装置和方法-CN201010557521.9无效
发明人： 屈俊健;梁石磊;董明;吴修东;毛业云;周晓丽 -专利权人：上海英迈吉东影图像设备有限公司
申请日： 2010-11-25 - 公布日： 2012-05-30 - 主分类号： G01N23/04 文献下载
摘要：本发明提供一种X射线飞点的形成装置和方法，所述装置包括：射线源和射线源准直器，所述射线源准直器位于所述射线源的出束窗口，所述装置还包括一旋转轴，所述旋转轴位于所述射线源准直器的一侧，所述旋转轴上开有螺旋槽。本发明X射线飞点的形成装置和方法由于避免使用较重的飞轮或是飞盘来屏蔽X射线，从而降低了X射线飞点的形成装置的功率；另外，本发明使用的零件加工简单，安装方便。
射线形成装置方法

[发明专利]X射线飞点的形成装置和方法-CN201110244936.5有效
发明人： 屈俊健;董明 -专利权人： 屈俊健;董明
申请日： 2011-08-24 - 公布日： 2012-03-28 - 主分类号： G01N23/04 文献下载
摘要：本发明提供一种X射线飞点的形成装置和方法，所述装置包括：射线源；射线源准直器，位于所述射线源的出束窗口；旋转轴，位于所述射线源准直器的一侧，所述旋转轴上开有螺旋槽；所述旋转轴上至少开有两圈所述螺旋槽，所述装置还包括一时间断路器，所述时间断路器位于所述旋转轴出束的一侧。本发明X射线飞点的形成装置和方法使用时间断路器和开有多圈螺旋槽的旋转轴配合使用，增大了X射线的仰角的范围，此外，确保了在任何时刻只能通过一个X射线线束，提高了装置的稳定性。
射线形成装置方法

[实用新型]X射线转盘式断路飞点形成装置-CN201120237022.1有效
发明人：董明;屈俊健 -专利权人：董明;屈俊健
申请日： 2011-07-07 - 公布日： 2012-03-28 - 主分类号： G01N23/04 文献下载
摘要：本实用新型提供一种X射线转盘式断路飞点形成装置，其装置包括：射线源和射线源准直器，所述射线源准直器位于所述射线源的出束窗口，所述装置还包括一转盘，所述转盘抱箍所述射线源，所述转盘上设有多个直线槽。本实用新型X射线转盘式断路飞点形成装置只需要很小的功率，节约能源，同时装置结构简单，也降低了加工和安装难度。
射线转盘断路形成装置

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