[发明专利]传感器以及用于制造传感器的方法有效
| 申请号： | 201510087121.9 | 申请日： | 2015-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN104843630B | 公开（公告）日： | 2018-05-25 |
| 发明（设计）人： | J·赖因穆特 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 郭毅 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 提出一种传感器，其具有衬底、微机电结构和脱耦合结构，其中所述脱耦合结构固定在所述衬底上，其中所述微机电结构固定在所述脱耦合结构上，其中所述微机电结构和所述脱耦合结构能够相对于所述衬底移动，其中所述脱耦合结构设置在所述微机电结构和所述衬底之间。 | ||
| 搜索关键词： | 耦合结构 微机电结构 衬底 传感器 移动 制造 | ||
【主权项】：
1.一种传感器(1)，其具有衬底(15)、微机电结构(13)和脱耦合结构(14)，其中，所述脱耦合结构(14)固定在所述衬底(15)上，其中，所述微机电结构(13)固定在所述脱耦合结构(14)上，其中，所述微机电结构(13)和所述脱耦合结构(14)能够相对于所述衬底(15)移动，其特征在于，所述脱耦合结构(14)设置在所述微机电结构(13)和所述衬底(15)之间。
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