[发明专利]酒精敏感材料及半导体酒精传感器有效
| 申请号： | 201510080746.2 | 申请日： | 2015-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN104677958B | 公开（公告）日： | 2017-10-20 |
| 发明（设计）人： | 章伟;李雨桐;秦薇薇;李涛 | 申请（专利权）人： | 南京益得冠电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/26 | 分类号： | G01N27/26 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司32200 | 代理人： | 杨楠 |
| 地址： | 211100 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种酒精敏感材料及半导体酒精传感器，属于气体检测技术领域。本发明的酒精敏感材料为五氧化二铌或/和二氧化钛掺杂的氧化锌，或者为五氧化二铌或/和二氧化钛掺杂的氧化锡，或者为五氧化二铌或/和二氧化钛掺杂的氧化锡/氧化锌混合物。本发明半导体酒精传感器，包括加热和检测部件以及由本发明酒精敏感材料制成的敏感层。本发明通过五氧化二铌或/和二氧化钛对氧化锌、氧化锡或两者混合物进行掺杂，将金属氧化物传感材料对酒精的灵敏度提高一个量级，对其他可挥发有机气体的选择性提高了5倍，且降低了反应温度。本发明半导体酒精传感器具有结构简单、集成化程度高的优点，可通过各种成熟的半导体工艺技术来制备。 | ||
| 搜索关键词： | 酒精 敏感 材料 半导体 传感器 | ||
【主权项】：
一种酒精敏感材料，其特征在于，所述酒精敏感材料为五氧化二铌和二氧化钛掺杂的氧化锌，或者为五氧化二铌和二氧化钛掺杂的氧化锡，或者为五氧化二铌和二氧化钛掺杂的氧化锡/氧化锌混合物，所述五氧化二铌的掺杂比例为0.1％～0.3％mol，二氧化钛与五氧化二铌的摩尔比为5：1。
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