[发明专利]叠层体的加工装置及加工方法有效
| 申请号： | 201480047352.0 | 申请日： | 2014-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN105493631B | 公开（公告）日： | 2017-11-24 |
| 发明（设计）人： | 熊仓佳代;青山智哉;千田章裕;横山浩平;大野正胜;井户尻悟;池田寿雄;安达広树;平形吉晴;江口晋吾;神保安弘 | 申请（专利权）人： | 株式会社半导体能源研究所 |
| 主分类号： | H05B33/10 | 分类号： | H05B33/10;B65G49/06;H01L21/677;H01L51/50;H05B33/14 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司11290 | 代理人： | 曹正建,陈桂香 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供一种叠层体的加工装置。该叠层体包括其端部之间有间隙且彼此贴合在一起的两个衬底。该加工装置包括固定叠层体的一部分的固定机构、固定叠层体的一个衬底的外边缘部的多个吸附器具、以及插在叠层体的角部的楔形器具。多个吸附器具包括可以使各吸附器具沿垂直方向及水平方向独立地移动的机构。该加工装置还包括检测叠层体端部的间隙位置的传感器。楔形器具的尖端沿着形成在叠层体的端面的倒角部分移动。该楔形器具插在叠层体的端部的间隙中。 | ||
| 搜索关键词： | 叠层体 加工 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种叠层体的加工装置，所述叠层体包括彼此贴合的两个衬底，所述两个衬底之间设有位于所述两个衬底的端部处的间隙，所述加工装置包括：用于固定于所述叠层体的一部分的固定机构；用于固定于所述叠层体的所述两个衬底中的一个衬底的外边缘部的多个吸附器具；以及用于插在所述叠层体的角部中的楔形器具，其中，每一所述多个吸附器具包括用于控制沿垂直方向及水平方向上的移动的机构，且其中，每一所述多个吸附器具通过所述机构独立地移动。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社半导体能源研究所，未经株式会社半导体能源研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201480047352.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种硫醚氧化方法
- 下一篇：具有框架通路的气体传感器设备和相关方法
