[发明专利]具有图案的基板的制造方法以及氢氟酸蚀刻用树脂组合物有效
| 申请号： | 201480018709.2 | 申请日： | 2014-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN105103050B | 公开（公告）日： | 2019-12-03 |
| 发明（设计）人： | 佐藤哲夫 | 申请（专利权）人： | 日产化学工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/035 | 分类号： | G03F7/035;C08F290/06;C08G18/69;C08G63/40;G03F7/027;G03F7/032;G03F7/40 |
| 代理公司： | 11277 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 刘新宇;李茂家<国际申请>=PCT/JP |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种具有利用蚀刻形成的图案的基板的制造方法，其特征在于，其包括：将包含作为(A)成分的使选自聚丁二烯多元醇、氢化聚丁二烯多元醇、聚异戊二烯多元醇以及氢化聚异戊二烯多元醇的多元醇(a1)与交联剂(a2)反应而得到的树脂的组合物涂布到基板上形成抗蚀膜的工序、和对形成该抗蚀膜的基板进行蚀刻加工而图案化的工序。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 图案 制造 方法 以及 氢氟酸 蚀刻 树脂 组合 | ||
【主权项】：
1.一种具有利用蚀刻形成的图案的基板的制造方法，其特征在于，其包括：将包含作为(A)成分的树脂的组合物涂布到基板上形成抗蚀膜的工序；和、对形成有该抗蚀膜的基板使用氢氟酸进行蚀刻加工而图案化的工序，/n所述树脂是由选自聚丁二烯多元醇、氢化聚丁二烯多元醇、聚异戊二烯多元醇以及氢化聚异戊二烯多元醇中的多元醇(a1)与交联剂(a2)反应得到的。/n
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