[实用新型]四维EUV反射镜装调装置有效
| 申请号： | 201420596121.2 | 申请日： | 2014-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN204101796U | 公开（公告）日： | 2015-01-14 |
| 发明（设计）人： | 陈进新;王宇;吴晓斌;谢婉露;王魁波;崔惠绒 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电研究院 |
| 主分类号： | G02B7/198 | 分类号： | G02B7/198;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 宋焰琴 |
| 地址： | 100094*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种四维EUV反射镜装调装置，包括真空腔体、反射镜片、镜片支撑架、滑动系统、第一调节系统和第二调节系统，反射镜片位于真空腔体内，镜片支撑架安装反射镜片，滑动系统包括滑动通道和滑动体，滑动体置于滑动通道上并能够在滑动通道上滑动；镜片支撑架的底部开有球窝，以使镜片支撑架通过球窝与滑动体的配合装配在该滑动系统上；第一调节系统从真空腔体外伸入真空腔体内，并抵顶镜片支撑架，以使该镜片支撑架绕穿过滑动体的中心的两两之间相互垂直的三条轴线转动；第二调节系统从真空腔体外伸入真空腔体内，并抵顶滑动体，使滑动体沿着滑动通道滑动。本实用新型能够实现反射镜片和镜片支撑架的一维平动和三维转动的调节。 | ||
| 搜索关键词： | euv 反射 镜装调 装置 | ||
【主权项】：
一种四维EUV反射镜装调装置，包括真空腔体、反射镜片、镜片支撑架，反射镜片位于真空腔体内，镜片支撑架安装所述反射镜片，其特征在于：所述装调装置还包括滑动系统、第一调节系统和第二调节系统，其中， 所述滑动系统也固定于真空腔体内，包括一个滑动通道、一个滑动体和一个滑道板(52)，滑动体置于滑动通道上并能够在滑动通道上滑动；所述滑动通道(521)开在所述滑道板上； 所述镜片支撑架的底部开有球窝，以使镜片支撑架通过所述球窝与滑动体的配合装配在该滑动系统上； 所述第一调节系统从所述真空腔体外伸入真空腔体内，并抵顶所述镜片支撑架，以使该镜片支撑架绕穿过所述滑动体的中心的两两之间相互垂直的三条轴线转动； 所述第二调节系统从所述真空腔体外伸入真空腔体内，并抵顶所述滑动体，使所述滑动体沿着所述滑动通道滑动。
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