[实用新型]一种卷绕式介质材料和金属材料双蒸发的真空镀膜设备有效
| 申请号： | 201420568981.5 | 申请日： | 2014-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN204151408U | 公开（公告）日： | 2015-02-11 |
| 发明（设计）人： | 蒋国辉;魏文军 | 申请（专利权）人： | 江苏金恒新型包装材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 孙承尧 |
| 地址： | 211200 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种卷绕式介质材料和金属材料双蒸发的真空镀膜设备，该设备包括真空腔体和与真空腔体相接的抽真空系统；所述真空腔体中设有依次相接的放卷装置、导膜装置、冷却装置以及收卷装置，在导膜装置和冷却装置之间设有蒸发装置，所述蒸发装置为两种交换使用的蒸发装置，分别为金属蒸发装置及介质蒸发装置。本实用新型克服了现有真空电阻蒸发镀膜设备蒸发介质材料和金属材料无法在同一真空腔体完成的问题，可满足功能薄膜制备多种材料组合匹配的工艺需求,可成倍地提高生产效率,极大地改善产品寿命,减少设备投资及占地空间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 卷绕 介质 材料 金属材料 蒸发 真空镀膜 设备 | ||
【主权项】：
一种卷绕式介质材料和金属材料双蒸发的真空镀膜设备，其特征在于：包括真空腔体(1)和与真空腔体(1)相接的抽真空系统(2)；所述真空腔体(1)中设有依次相接的放卷装置(3)、导膜装置(4)、冷却装置(5)以及收卷装置(6)，在导膜装置(4)和冷却装置(5)之间设有蒸发装置(7)，所述蒸发装置(6)为两种交换使用的蒸发装置，分别为金属蒸发装置及介质蒸发装置。
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