[实用新型]去除多晶硅片制绒后表面多孔硅的装置有效
| 申请号： | 201420474522.0 | 申请日： | 2014-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN204138820U | 公开（公告）日： | 2015-02-04 |
| 发明（设计）人： | 赵卫东;赵雅;赵枫;杨冬琴;汤云鶴;王玉龙;郭盼盼;徐建鸿;龚骏 | 申请（专利权）人： | 江苏东鋆光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10;H01L31/18 |
| 代理公司： | 江阴市同盛专利事务所(普通合伙) 32210 | 代理人： | 唐纫兰;沈国安 |
| 地址： | 214421 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种彻底去除多晶硅片制绒后表面多孔硅的装置，包括碱槽主槽、碱槽副槽、药箱、加热装置、水冷装置、数显流量计、手动球阀。可稳定控制主槽喷淋的碱溶液的稳定，使去除多孔硅的反应在45℃的环境下进行，从而彻底去除多孔硅，且不损害碱液喷淋管寿命，提高电池片的电性能，降低生产成本，降低电池片的外观不良率。 | ||
| 搜索关键词： | 去除 多晶 硅片 制绒后 表面 多孔 装置 | ||
【主权项】：
一种去除多晶硅片制绒后表面多孔硅的装置，它包括药箱（1）、碱槽主槽（2）和碱槽副槽（3），其特征在于所述药箱（1）的出口与碱槽副槽（3）的进口相连，且在所述药箱（1）与碱槽副槽（3）之间设置有第一加热器（4），在所述碱槽副槽（3）的出口端依次连接有第一手动球阀（5）和第一数显流量计（6），最后与碱槽主槽（2）的入口相连，在所述碱槽主槽（2）的出口端依次连接有第二手动球阀（7）和第二数显流量计（8），最后与碱槽副槽（3）的入口相连，在所述碱槽副槽（3）内增加第二加热装置（9）和水冷装置（10）。
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