[实用新型]一种聚焦离子束显微镜的样品台有效
| 申请号： | 201420348330.5 | 申请日： | 2014-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN203910742U | 公开（公告）日： | 2014-10-29 |
| 发明（设计）人： | 付贺伟 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/26 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 李仪萍 |
| 地址： | 100176 北京市大兴*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种聚焦离子束显微镜的样品台，所述举升装置至少包含平台、盖体、螺丝和第一连接件；所述样品台包含一带有十字开口的盖体，通过加入盖体，使得样品与样品台的接触稳定性更好，且取样品时只需要打开盖体即可，操作更加便捷；所述盖体的十字开口分为四个开口部，且各开口部的宽度各不相同，可以实现对不同样品的同时检测；进一步的，盖体的材料为金属材料，在固定样品的同时，可以导走样品表面聚积的电荷，确保测量结构的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 聚焦 离子束 显微镜 样品 | ||
【主权项】：
一种聚焦离子束显微镜的样品台，其特征在于，所述样品台至少包含：平台，适于放置样品；盖体，所述盖体上设有开口，适于利用所述开口的边缘压制住所述样品的边缘，以固定所述样品；螺丝，位于所述平台底部，适于将所述平台固定于测试机台上；以及连接所述平台和盖体的第一连接件。
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