[实用新型]翻转机控制电路和晶圆翻转系统有效
| 申请号： | 201420291258.7 | 申请日： | 2014-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN203894595U | 公开（公告）日： | 2014-10-22 |
| 发明（设计）人： | 张伟;肖方;倪尧;潘建伟 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/18 | 分类号： | G05B19/18 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提出了一种翻转机控制电路和晶圆翻转系统，包括：翻转机，安装于翻转机翻转位置处多个并联的接近开关，与接近开关相连的常开控制继电器，常开控制继电器串联于翻转机的回路中。在回路中添加常开控制继电器，当翻转机内部的晶圆位于其中一个翻转位置时，则接近开关会导通，使常开控制继电器导通，从而控制回路才导通，此时当控制信号由翻转机的控制电路发出时，翻转机才能够进行翻转；若翻转机内部的晶圆不处于翻转位置时，回路无法导通，此时即便控制信号由翻转机发出，回路翻转机也不会进行翻转，这样便能够避免晶圆处于非翻转位置时控制信号控制翻转机翻转，从而避免晶圆脱落造成损伤甚至造成报废。 | ||
| 搜索关键词： | 转机 控制电路 翻转 系统 | ||
【主权项】：
一种翻转机控制电路，其特征在于，所述翻转机控制电路包括：多个接近开关、常开控制继电器和回路，所述多个接近开关并联且分别位于翻转机的多个翻转位置处，所述常开控制继电器串联于所述回路中，所述接近开关与所述常开控制继电器相连。
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