[实用新型]翻转机控制电路和晶圆翻转系统有效
| 申请号： | 201420291258.7 | 申请日： | 2014-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN203894595U | 公开（公告）日： | 2014-10-22 |
| 发明（设计）人： | 张伟;肖方;倪尧;潘建伟 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/18 | 分类号： | G05B19/18 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 转机 控制电路 翻转 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种翻转机控制电路，其特征在于，所述翻转机控制电路包括：多个接近开关、常开控制继电器和回路，所述多个接近开关并联且分别位于翻转机的多个翻转位置处，所述常开控制继电器串联于所述回路中，所述接近开关与所述常开控制继电器相连。
2.如权利要求1所述的翻转机控制电路，其特征在于，所述回路包括一信号继电器，所述信号继电器与所述常开控制继电器串联。
3.如权利要求1所述的翻转机控制电路，其特征在于，所述接近开关的个数为4个。
4.一种晶圆翻转系统，其特征在于，所述晶圆翻转系统包括：翻转机以及如权利要求1至3任意一项所述的翻转机控制电路。
5.如权利要求4所述的晶圆翻转系统，其特征在于，所述翻转机系统还包括一翻转马达，所述翻转马达位于所述翻转机的内部。
6.如权利要求5所述的晶圆翻转系统，其特征在于，所述翻转机系统还包括一刹车装置，所述刹车装置位于所述翻转机的内部并与所述翻转马达相连。
7.如权利要求6所述的晶圆翻转系统，其特征在于，所述刹车装置与所述回路通过信号线进行信号连接。
8.如权利要求4所述的晶圆翻转系统，其特征在于，所述翻转位置和接近开关的个数均为四个。
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