[实用新型]翻转机控制电路和晶圆翻转系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体制造领域，尤其涉及一种翻转机控制电路和晶圆翻转系统。

背景技术

半导体行业中，翻转机(Roller)用于整批翻转晶圆以及传输晶圆。翻转机内部设有一机械手臂(Robot Arm)，机械手臂用于抓取晶圆，在相应的翻转位置处可以将晶圆翻转与水平线呈成不同的角度，例如90度、180度或者270度。

现有技术中，翻转机设有4个翻转位置，分别是0度、90度、180度以及270度；在翻转机处于0度位置时，晶圆能够通过机械手臂装载在所述翻转机内部或者由机械手臂将晶圆从翻转机内卸载至晶圆盒之中，并不对晶圆进行角度的翻转。若需要对晶圆进行翻转，那么翻转机必须位于90度、180度或者270度的翻转位置时，才能对晶圆进行相应的角度翻转。翻转机内部设有控制电路，控制电路用于发出控制信号，翻转机在得到相应的控制信号时，会在相应的翻转位置处进行相应的翻转动作，例如在90度的翻转位置处，翻转机得到第一次控制信号时，翻转机会通过机械手臂将晶圆从0度翻转至90度，在180度的翻转位置处，在翻转机得到第二次控制信号时，翻转机会通过机械手臂将晶圆从90度翻转至180度，以此类推。

当翻转机内部出现异常，翻转机的机械手臂可能位于翻转机除以上四个翻转位置的其他任何位置处(非翻转位置)，或者控制电路无法确认翻转机机械手臂的具体位置时，此时若翻转机得到控制信号，则会导致晶圆在非翻转位置处进行翻转，从而致使晶圆从机械手臂上脱落，造成晶圆的损伤，甚至报废。

然而，现有技术中的翻转机控制信号是由控制电路发出24V直流电压信号作为控制信号。因此，只要控制电路发出控制信号，翻转机得到相应的电压信号，因此翻转机不管晶圆是否处于正确的翻转位置(例如90度、180度或270度)其均会自动进行翻转，那么此时的控制信号将会导致晶圆从机械手臂上脱落，进而会导致晶圆的损伤和报废，存在极大的风险。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种翻转机控制电路和晶圆翻转系统，能够确保翻转机在晶圆处于非翻转位置时即便是获得控制信号也不会进行翻转，进而保护晶圆。

为了实现上述目的，本实用新型提出了一种翻转机控制电路，所述翻转机控制电路包括：多个接近开关、常开控制继电器和回路，所述多个接近开关并联且分别位于翻转机的多个翻转位置处，所述常开控制继电器串联于所述回路中，所述接近开关与所述常开控制继电器相连。

可选的，在所述的翻转机控制电路中，所述回路包括一信号继电器，所述信号继电器与所述常开控制继电器串联。

可选的，在所述的翻转机控制电路中，所述接近开关的个数为4个。

本实用新型还提出了一种晶圆翻转系统，所述晶圆翻转系统包括：翻转机以及如上文任意一项所述的翻转机控制电路。

可选的，在所述的晶圆翻转系统中，所述翻转机系统还包括一翻转马达，所述翻转马达位于所述翻转机的内部。

可选的，在所述的晶圆翻转系统中，所述翻转机系统还包括一刹车装置，所述刹车装置位于所述翻转机的内部并与所述翻转马达相连。

可选的，在所述的晶圆翻转系统中，所述刹车装置与所述回路通过信号线进行信号连接。

可选的，在所述的晶圆翻转系统中，所述翻转位置和接近开关的个数均为四个。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果主要体现在：在控制翻转的回路中添加一常开控制继电器，并在翻转机内部多个翻转位置处安装多个接近开关，接近开关相互之间并联并与常开控制继电器相连，当翻转机内部的晶圆位于其中一个翻转位置时，则接近开关会导通，使常开控制继电器导通，从而控制回路才导通，此时当控制信号由翻转机的控制电路发出时，翻转机才能够进行翻转；若翻转机内部的晶圆不处于翻转位置时，回路无法导通，此时即便控制信号由翻转机发出，回路翻转机也不会进行翻转，这样便能够避免晶圆处于非翻转位置时控制信号控制翻转机翻转，从而避免晶圆脱落造成损伤甚至造成报废。

附图说明

图1为本实用新型一实施例中晶圆翻转系统的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合示意图对本实用新型的翻转机控制电路和晶圆翻转系统进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型，而仍然实现本实用新型的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。