[实用新型]嵌有环形栅MOSFET的抗辐射SCR静电防护器件有效
申请号: | 201420145033.0 | 申请日: | 2014-03-28 |
公开(公告)号: | CN203883004U | 公开(公告)日: | 2014-10-15 |
发明(设计)人: | 谢晶;袁永刚;李晓娟;王玲;王继强;马丁;刘伯路;李向阳 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海技术物理研究所 |
主分类号: | H01L27/02 | 分类号: | H01L27/02 |
代理公司: | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人: | 郭英 |
地址: | 200083 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本专利公开了一种嵌有环形栅MOSFET的抗辐照SCR静电防护器件,本专利嵌入的环形栅MOSFET可用于6种不同结构的SCR静电防护器件。6种SCR静电防护器件结构,分别通过嵌入环形栅NMOS、环形栅PMOS、嵌入环形栅MOSFET同时增加P型阱区及N型深阱区来实现。环形栅的嵌入,相当于嵌入栅接地NMOS或栅接高电位PMOS结构,其触发电压接近栅接地NMOS或栅接高电位PMOS结构的触发电压,降低了触发电压,加快了开启速度。采用环形栅结构,增大了阴极到阳极的距离,阻断了NMOS器件边缘的漏电通路,因此提高了SCR器件维持电压和抗辐照能力。 | ||
搜索关键词: | 环形 mosfet 辐射 scr 静电 防护 器件 | ||
【主权项】:
一种嵌有环形栅MOSFET的抗辐射SCR静电防护器件,包括:MOSFET和SCR,其特征在于:所述的MOSFET为环形栅MOSFET,其中环形栅NMOS管的源端和栅端通过金属导线连接到SCR的阴极;环形栅PMOS管的源端和栅端通过金属导线连接到SCR的阳极。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的