[实用新型]嵌有环形栅MOSFET的抗辐射SCR静电防护器件有效

专利信息
申请号: 201420145033.0 申请日: 2014-03-28
公开(公告)号: CN203883004U 公开(公告)日: 2014-10-15
发明(设计)人: 谢晶;袁永刚;李晓娟;王玲;王继强;马丁;刘伯路;李向阳 申请(专利权)人: 中国科学院上海技术物理研究所
主分类号: H01L27/02 分类号: H01L27/02
代理公司: 上海新天专利代理有限公司 31213 代理人: 郭英
地址: 200083 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 专利公开了一种嵌有环形栅MOSFET的抗辐照SCR静电防护器件,本专利嵌入的环形栅MOSFET可用于6种不同结构的SCR静电防护器件。6种SCR静电防护器件结构,分别通过嵌入环形栅NMOS、环形栅PMOS、嵌入环形栅MOSFET同时增加P型阱区及N型深阱区来实现。环形栅的嵌入,相当于嵌入栅接地NMOS或栅接高电位PMOS结构,其触发电压接近栅接地NMOS或栅接高电位PMOS结构的触发电压,降低了触发电压,加快了开启速度。采用环形栅结构,增大了阴极到阳极的距离,阻断了NMOS器件边缘的漏电通路,因此提高了SCR器件维持电压和抗辐照能力。
搜索关键词: 环形 mosfet 辐射 scr 静电 防护 器件
【主权项】:
一种嵌有环形栅MOSFET的抗辐射SCR静电防护器件,包括:MOSFET和SCR,其特征在于:所述的MOSFET为环形栅MOSFET,其中环形栅NMOS管的源端和栅端通过金属导线连接到SCR的阴极;环形栅PMOS管的源端和栅端通过金属导线连接到SCR的阳极。 
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