[实用新型]光刻机偏振照明系统光瞳偏振态测量装置有效
| 申请号： | 201420054625.1 | 申请日： | 2014-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN203720528U | 公开（公告）日： | 2014-07-16 |
| 发明（设计）人： | 蔡燕民;李中梁;步扬;王向朝;黄惠杰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种光刻机偏振照明系统光瞳偏振态测量装置，包括反射镜、针孔板、成像物镜、中继物镜、相位补偿板、1/4波片、1/2波片、沃拉斯顿棱镜、聚焦镜、像传感器。光刻机照明系统的偏振光束入射到反射镜上，被反射到与照明系统光轴垂直的方向，投射到针孔板上，通过针孔的光束再经过成像物镜和中继物镜准直成平行光束，通过相位补偿板、1/4波片、1/2波片，投射到沃拉斯顿棱镜上，被沃拉斯顿棱镜分成2束光，经过聚焦镜投射到像传感器上。本实用新型可以实时监测照明光瞳偏振态的动态变化，直接测量得到每一个归一化的斯托克斯参量，或者每一个斯托克斯参量，1/4波片和1/2波片分别仅有2个定位位置，不需要连续旋转，运动控制简单可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 偏振 照明 系统 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种光刻机偏振照明系统光瞳偏振态测量装置，包括反射镜、针孔板、成像物镜、中继物镜、相位补偿板、1/4波片、1/2波片、沃拉斯顿棱镜、聚焦镜、像传感器，其特征在于光刻机照明系统的偏振光束入射到所述反射镜上，被反射到与照明系统光轴垂直的方向，投射到所述针孔板上，通过针孔的光束再经过所述成像物镜和所述中继物镜准直成平行光束，通过所述相位补偿板、所述1/4波片、所述1/2波片，投射到所述沃拉斯顿棱镜上，被所述沃拉斯顿棱镜分成2束光，经过所述聚焦镜投射到所述像传感器上，所述像传感器采用CCD相机。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院上海光学精密机械研究所，未经中国科学院上海光学精密机械研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201420054625.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
