[实用新型]一种可在惰性气氛中生长掺杂有机晶体的装置有效
申请号: | 201420031182.4 | 申请日: | 2014-01-17 |
公开(公告)号: | CN203659812U | 公开(公告)日: | 2014-06-18 |
发明(设计)人: | 王欢;赵阳;苑丹丹 | 申请(专利权)人: | 东北石油大学 |
主分类号: | H01L21/00 | 分类号: | H01L21/00;H01L21/38;H01L21/40 |
代理公司: | 大庆知文知识产权代理有限公司 23115 | 代理人: | 李建华 |
地址: | 163318 黑龙*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | 一种可在惰性气氛中生长掺杂有机晶体的装置,主要解决现有技术中没有可利用物理方法生长掺杂有机晶体的低成本装置的问题。其特征在于:大内径石英管的左右端分别设有气体进、出口管,在大内径石英管的外壁上由左端始至中段处止,缠绕由电阻丝绕制的加热带,大内径石英管的左右端均通过石英管端盖封闭,所述端盖的边缘处设有密封胶圈;大内径石英管中通过可拉动的定位托盘固定有中内径石英管,在中内径石英管内左端通过隔板定位后固定放置有1、2号小内径石英管。本装置可以在惰性气体保护的条件下,通过加热温度和原材料加热位置的调节,生长出厘米级尺寸、掺杂含量可控的有机晶体。 | ||
搜索关键词: | 一种 惰性 气氛 生长 掺杂 有机 晶体 装置 | ||
【主权项】:
一种可在惰性气氛中生长掺杂有机晶体的装置,包括大内径石英管(4)、中内径石英管(3)以及1、2号小内径石英管(1,2),其特征在于:所述大内径石英管(4)的内部中空,其左、右端均通过石英管端盖(8)封闭,所述石英管端盖的边缘处设有密封胶圈(9),大内径石英管(4)的左、右端分别设有气体进口管(5)和气体出口管(6);在大内径石英管的外壁上由左端始至中段处止,缠绕由电阻丝绕制的加热带(7);所述大内径石英管中通过带有拉绳(11)的定位托盘(10)固定有中内径石英管(3),在中内径石英管(3)的管壁上开有若干可置入隔板(14)的隔板插入口(13),隔板(14)上开有若干通气孔;在中内径石英管(3)中的左端通过插入隔板(14)定位后固定放置1、2号小内径石英管(1,2);在大内径石英管(4)的管壁上开有活动口,所述活动口通过带有紧固螺栓的弧形盖板(12)封闭。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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