[发明专利]一种导电氧化锆旋转靶材及其制备方法有效
| 申请号： | 201410841672.5 | 申请日： | 2014-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN104451582B | 公开（公告）日： | 2017-09-29 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 北京恒隆科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/08 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所11302 | 代理人： | 刘杰 |
| 地址： | 102208 北京市昌*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种导电氧化锆旋转靶材，该靶材成分为ZrOx，所述靶材密度为5.18—5.8g/cm3，其中，1.2≤X≤1.8。本发明还提供了一种导电氧化锆旋转靶材的制备方法，包括氧化锆喷涂粉的制备；喷涂基体的处理；喷涂打底层；用等离子喷涂工艺在喷涂基体上喷涂氧化锆涂层。本发明提供的导电氧化锆旋转靶材，靶材结构致密、成分均匀、导电性好、无裂纹，其喷涂长度和直径不受限制，厚度可达到13mm，密度为5.18—5.8g/cm3，且本发明提供的导电氧化锆旋转靶材的制备方法，生产过程简单便捷，成本较低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 导电 氧化锆 旋转 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种导电氧化锆旋转靶材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：氧化锆喷涂粉的制备；喷涂基体的处理；喷涂打底层；用等离子喷涂工艺在喷涂基体上喷涂氧化锆涂层；所述用等离子喷涂工艺在喷涂基体上喷涂氧化锆涂层的过程中，所述喷涂基体的转速控制为30‑80r/min，喷枪与所述喷涂基体间的距离控制为120‑200mm，喷枪的移动速度控制为300‑800mm/min；电流400A，电压50KV，送粉量40g·min‑1,送粉气流量4L·min‑1，主气类型Ar；此气类型氢气，主气流量40L·min‑1，次气流量5L·min‑1，主气压力8MPa，次气压力6MPa；所述用等离子喷涂工艺在喷涂基体上喷涂氧化锆涂层的过程中，所述喷涂基体表面用压缩气流进行冷却，所述喷涂基体的表面温度控制为不超过200℃。
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