[发明专利]OLED材料真空热蒸镀用掩膜板有效
申请号: | 201410734443.3 | 申请日: | 2014-12-04 |
公开(公告)号: | CN104561892B | 公开(公告)日: | 2016-11-23 |
发明(设计)人: | 吴聪原;刘亚伟 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04 |
代理公司: | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人: | 林才桂 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供一种OLED材料真空热蒸镀用掩膜板,包括掩膜边框(1)、固定于所述掩膜边框(1)上的插条(3)、及固定于所述插条(3)上的掩膜(5);所述掩膜边框(1)包括四条边,该四条边围拢出一对应掩膜(5)的开口;掩膜边框(1)的每条边均设置一条凹陷于其上表面的沟槽(11);所述插条(3)固定于所述沟槽(11)内;所述掩膜(5)通过点焊固定于插条(3)上,焊点(7)位于插条(3)上。当掩膜变形需要更换时,仅需将插条取出进行抛光、或更换插条即可,掩膜边框能够重复多次使用,减少掩膜边框的报废量,提高掩膜边框的利用率,同时能够减少掩膜边框的备份数量,节约材料及生产成本。 | ||
搜索关键词: | oled 材料 真空 热蒸镀用掩膜板 | ||
【主权项】:
一种OLED材料真空热蒸镀用掩膜板,其特征在于,包括掩膜边框(1)、固定于所述掩膜边框(1)上的插条(3)及固定于所述插条(3)上的掩膜(5);所述掩膜边框(1)包括四条边,该四条边围拢出一对应掩膜(5)的开口;将所述掩膜边框(1)靠近掩膜(5)一侧的表面定义为上表面,掩膜边框(1)的每条边均设置一条凹陷于其上表面的沟槽(11);所述插条(3)固定于所述沟槽(11)内;所述掩膜(5)通过点焊固定于插条(3)上,焊点(7)位于插条(3)上。
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