[发明专利]一种蒸发系统自动送丝装置在审
申请号: | 201410496624.7 | 申请日: | 2014-09-25 |
公开(公告)号: | CN105506555A | 公开(公告)日: | 2016-04-20 |
发明(设计)人: | 张德强 | 申请(专利权)人: | 江门市兆业科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/54 |
代理公司: | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人: | 伦荣彪 |
地址: | 529000 *** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种蒸发系统自动送丝装置,包括真空支架、与真空支架一端安装连接并与其端面配合形成真空状态的真空密封端面、设于真空支架和真空密封端面外的变频电机、变频电机安装连接有穿过真空密封面并置于真空支架内的驱动轴、驱动轴上套有送丝机构;所述的送丝机构连接有在线监测薄膜镀层厚度和镀膜线速度并可调节送丝机构速度的自动送丝集成控制器。该蒸发系统自动送丝装置能够根据镀膜镀层的要求而自动设定镀层厚度,并设定锌铝比例,当检测镀层厚度或锌铝比例出现不合格时,能自动调节送丝机构的速度并重新检测直至符合要求为止,同时能实现在蒸发系统内自动送丝的目的。 | ||
搜索关键词: | 一种 蒸发 系统 自动 装置 | ||
【主权项】:
一种蒸发系统自动送丝装置,其特征在于,包括真空支架、与真空支架一端安装连接并与其端面配合形成真空状态的真空密封端面、设于真空支架和真空密封端面外的变频电机、变频电机安装连接有穿过真空密封面并置于真空支架内的驱动轴、驱动轴上套有送丝机构;所述的送丝机构连接有在线监测薄膜镀层厚度和镀膜线速度并可调节送丝机构速度的自动送丝集成控制器;所述的自动送丝集成控制器包括启动单元、与启动单元连接并设定薄膜镀层厚度的镀层厚度设定单元、与镀层厚度设定单元连接并设定镀层锌铝比例的锌铝比例设定单元、与锌铝比例设定单元连接并在线检测镀层厚度和检测镀膜线速度的在线检测单元、与在线监测单元连接并接收在线监测单元检测合格信号的循环工作执行单元、循环工作执行单元分别连接有结束停止单元和镀层厚度设定单元并反馈信号至镀层厚度设定单元循环工作;所述的在线检测单元还连接有接收在线检测单元发出不合格信号并可调节送丝机构速度的送丝机构速度调节单元,送丝机构速度调节单元循环连接在线检测单元并传达重新检测信号至在线检测单元。
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