[发明专利]薄膜沉积设备及其基材传输装置有效
| 申请号： | 201410449129.0 | 申请日： | 2014-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN105460599B | 公开（公告）日： | 2019-07-19 |
| 发明（设计）人： | 王祥慧 | 申请（专利权）人： | 沈阳拓荆科技有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/90 | 分类号： | B65G47/90 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 刘锋 |
| 地址： | 110000 辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明是关于一薄膜沉积设备及其基材传输装置。根据本发明一实施例的基材传输装置包含：设置于一传输室的若干机械手臂，及设置于至少一反应室的若干基材工位。其中若干机械手臂与至少一反应室内的基材工位对应，各机械手臂可放置基材至所述至少一反应室内相对应的基材工位或自相对应的基材工位上取走基材。根据本发明实施例的薄膜沉积设备及其基材传输装置可节省反应室内用于基材工位的回转机构，在节省成本的同时，可提高设备的稳定性和基材传输的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 沉积 设备 及其 基材 传输 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于薄膜沉积设备的基材传输装置，包含：若干机械手臂，设置于一传输室；若干基材工位，设置于至少一反应室；其中所述若干机械手臂与所述至少一反应室内的基材工位对应，以将基材放置至所述至少一反应室内相对应的基材工位或自相对应的基材工位上取走基材；其中所述至少一反应室内的基材工位中与所述传输室距离相同的基材工位组成一基材工位组，所述若干机械手臂中对应该基材工位组的机械手臂组成一机械手臂组，该机械手臂组连接同一回转机构；其中对应于距离所述传输室较远的基材工位组的机械手臂组的机械手臂相较于对应于距离所述传输室较近的基材工位组的机械手臂组的机械手臂更长；其中所述至少一反应室内的基材工位没有连接回转机构。
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