[发明专利]一种原位多功能光电器件探针测试装置

摘要

本发明涉及一种原位多功能光电器件探针测试装置，设计了全新的测试装置，基于此装置，可以实现真空、氮气、氧气等各种不同环境下对光电器件的自动测试，通过探针触碰方式，实现密封测试腔体内全程自动化操作，实现了针对光电器件的保护，测试过程方便快捷，测试结果客观准确，并且大大提高光电器件的测试效率。

主权项

 一种原位多功能光电器件探针测试装置，其特征在于：包括密封测试腔体（1）、样品台（2）、探针阵列装置（3）、接线槽（4）、信号采集/发射装置（5）、光电测试仪器（6）、第三电控旋转升降装置（14）和第三控制器（15）；其中，密封测试腔体（1）上设有密封门（7），样品台（2）与第三电控旋转升降装置（14）相连设置在密封测试腔体（1）内，第三控制器（15）位于密封测试腔体（1）的外部，第三控制器（15）通过导线与第三电控旋转升降装置（14）相连接；探针阵列装置（3）包括探针本体（8）、第一电控升降装置（9）和第一控制器（10），其中，探针本体（8）与第一电控升降装置（9）相连接，位于密封测试腔体（1）内样品台（2）的下面，第一控制器（10）和接线槽（4）位于密封测试腔体（1）的外部，第一电控升降装置（9）通过导线与第一控制器（10）相连接，探针本体（8）包括至少两根探针，接线槽（4）内包括数量与探针数量相一致的接线柱，各个探针分别通过导线与各个接线柱相连接；信号采集/发射装置（5）包括信号采集/发射本体（11）、第二电控平面运动装置（12）和第二控制器（13），其中，信号采集/发射本体（11）与第二电控平面运动装置（12）相连接，位于密封测试腔体（1）内样品台（2）的上方，第二控制器（13）和光电测试仪器（6）位于密封测试腔体（1）的外部，第二电控平面运动装置（12）通过导线与第二控制器（13）相连接；光电测试仪器（6）通过光纤与信号采集/发射本体（11）相连接。