[发明专利]一种基体表面的耐辐照防护涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 201410168406.0 | 申请日： | 2014-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN103924203A | 公开（公告）日： | 2014-07-16 |
| 发明（设计）人： | 汪爱英;冯宗建;柯培玲;张栋;王振玉 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/58;C23C14/06 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 单英 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基体表面耐辐照性能的防护涂层，该防护涂层以Ti2AlCMAX相为主相结构，实验证实，该Ti2AlC MAX相经受离子辐照后仍然保持较高的稳定性，具有优异的耐蚀耐辐照性能。另外，本发明还提供了一种制备该防护涂层的方法：采用TiAl合金靶材辅以碳氢反应气体，反应溅射制备Ti-Al-C防护涂层，然后通过真空热处理使其退火固相反应形成以Ti2AlC MAX相为主相的防护涂层。该制备方法成本低、简单易控，防护涂层均匀、性能良好，具有良好的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基体 表面 辐照 防护 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种基体表面的耐辐照防护涂层，其特征是：所述的防护涂层以Ti2AlC相为主相结构。
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