[发明专利]一种半导体设备

摘要

本发明提供了一种半导体设备，包括反应腔室和波纹管装置，波纹管装置包括波纹管、波纹管轴和波纹管固定件，波纹管固定件实现将波纹管装置固定在反应腔室底部，波纹管和波纹管固定件套置在波纹管轴的外侧壁，且波纹管的两端分别与波纹管轴和波纹管固定件固定连接，借助波纹管沿波纹管轴的轴向伸缩，实现位于波纹管轴上的基片在反应腔室内上下移动，在波纹管轴的外侧壁上设置有限位件，限位件的外径不小于波纹管固定件的内径，限位件在波纹管轴的轴向上的位置设置为在波纹管拉伸至最大允许长度的条件下，限位件与波纹管固定件相接触的位置处。该半导体设备可提高波纹管使用寿命、精度、稳定性和可靠性，拆卸更加容易、方便，降低设备维护时间。

主权项

一种半导体设备，包括反应腔室和波纹管装置，所述波纹管装置包括波纹管、波纹管轴和波纹管固定件，其中，所述波纹管固定件用于实现将所述波纹管装置固定在所述反应腔室的底部，所述波纹管和波纹管固定件套置在所述波纹管轴的外侧壁上，且所述波纹管的两端分别与波纹管轴和波纹管固定件固定连接，借助所述波纹管沿所述波纹管轴的轴向伸缩，以实现位于所述波纹管轴上的基片在所述反应腔室内上下移动，其特征在于，在所述波纹管轴的外侧壁上设置有限位件，所述限位件的外径不小于所述波纹管固定件的内径，并且所述限位件在所述波纹管轴的轴向上的位置设置为：在所述波纹管拉伸至最大允许长度的条件下，所述限位件与所述波纹管固定件相接触的位置处。