[发明专利]极紫外光刻光源收集及照明系统

摘要

一种极紫外光刻光源收集及照明系统，包括前端反射镜组和后端反射镜组两部分，前端反射镜组和后端反射镜组之间通过支撑结构安装固定。前端反射镜组中每层反射面由不同的抛物线段绕光轴旋转而成，极紫外光源中心位于抛物线的焦平面并处在光轴上。光源发出的光线经各抛物线反射后，以平行光路射出；后端反镜组各环带状圆锥面将前端反射面射出的平行光路分割成多个细窄平行光路，并全部反射到最终的照明点处。本发明使极紫外光刻机光源收集系统在进行光线收集的同时，也能够实现照明系统的功能，完成光束的整形和光谱过滤工作，为掩膜板的曝光提供良好的照明条件，将收集系统与照明系统整合到一起，能够缩减整体工作空间并使光学系统结构更加紧凑。

主权项

极紫外光刻光源收集及照明系统，其特征在于所述系统包括前端反射镜组和后端反射镜组两部分，前端反射镜组和后端反射镜组之间通过支撑结构安装固定，其中：所述前端反射镜组和后端反射镜组都包括相同数量的、以嵌套形式从内层到外层进行安装排布的壳体反射镜，其中前端反射镜组的某层壳体反射镜与后端反射镜组相应层数的壳体反射镜在光路上存在一一对应的关系，并靠支撑结构衔接在一起；所述前端反射镜组中的每层壳体反射镜的反射面都由抛物线绕光轴旋转而成；所述后端反射镜组中的每层壳体反射镜为环带状圆锥面，各环带状圆锥面共轴设置，其中各环带状圆锥面沿轴截面为多段连续线段；极紫外光源发出的光线经前端反射镜组各抛物线反射后，以平行光路射出，后端反射镜组各环带状圆锥面把前端反射面沿轴截面射出的平行光分割成多个细窄平行光路，并全部反射到最终的照明点处。