[发明专利]使用模型确定与等离子体系统关联的离子能量

摘要

本发明涉及使用模型确定与等离子体系统关联的离子能量，具体描述了用于确定离子能量的系统和方法。这些方法中的一种包括检测发生器的输出以识别出发生器输出复电压和电流(V＆I)。所述发生器耦合到阻抗匹配电路，而所述阻抗匹配电路耦合到静电卡盘（ESC）。该方法进一步包括从所述发生器输出复V＆I确定沿着所述阻抗匹配电路的模型的输出和所述ESC的模型之间的路径的点处的投射的复V＆I。所述投射的复V＆I的确定的操作使用所述路径中的至少部分的模型来执行。该方法包括施加所述投射的复V＆I作为函数的输入以将所述投射的复V＆I映射到在所述ESC模型处的晶片偏置值，并从所述晶片偏置值确定离子能量。

主权项

一种用于确定离子能量的方法，该方法包括：通过主机系统从电压和电流探针接收在射频RF发生器的输出位置通过所述电压和电流探针测得的第一复电压和电流，其中所述RF发生器的所述输出经由RF电缆耦合到阻抗匹配电路的输入，其中当所述RF发生器经由所述阻抗匹配电路耦合到等离子体室时的执行所述接收，所述阻抗匹配电路具有耦合到RF传输线的输出；基于所述阻抗匹配电路中所定义的电气部件生成阻抗匹配模型，所述阻抗匹配模型是计算机生成的模型，所述阻抗匹配模型具有输入和输出，所述阻抗匹配模型的所述输入接收所述第一复电压和电流，所述阻抗匹配模型具有一个或多个元件；传送所述第一复电压和电流通过所述阻抗匹配模型的所述元件以确定第二复电压和电流；获得峰值电压；基于所述第二复电压和电流确定晶片偏置；以及基于所述晶片偏置和所述峰值电压确定所述离子能量。