[发明专利]氧化物膜的制备方法有效
| 申请号： | 201410045815.1 | 申请日： | 2014-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN103774114A | 公开（公告）日： | 2014-05-07 |
| 发明（设计）人： | 王晓峰;尹玉华;李丽娟;霍自强;王军喜;李晋闽;曾一平 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | C23C16/40 | 分类号： | C23C16/40;C23C16/44 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种氧化物膜的制备方法，包括如下步骤：步骤S1：将氧化物粉末和石墨粉混合，放入反应舟中，反应舟放入石英反应管内；步骤S2：将清洗、吹干后的衬底放在衬底托上，放入石英反应管内；步骤S3：向石英反应管和反应舟内中分别通入惰性气体；步骤S4：加热石英反应管；步骤S5：调节反应舟和衬底的工作温度，调节石英反应管内的工作压力，向石英反应管内通入含氧气体，设定生长时间，在衬底上沉积氧化物薄膜，完成制备。本发明扩大了氧化物膜的制备范围，不仅可用于制备金属氧化物膜，也可用于制备非金属氧化物膜，特别是一些目前难以用其他方法制备的氧化物膜。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化物 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种氧化物膜的制备方法，包括如下步骤：步骤S1：将氧化物粉末和石墨粉混合，放入反应舟中，反应舟放入石英反应管内；步骤S2：将清洗、吹干后的衬底放在衬底托上，放入石英反应管内；步骤S3：向石英反应管和反应舟内中分别通入惰性气体；步骤S4：加热石英反应管；步骤S5：调节反应舟和衬底的工作温度，调节石英反应管内的工作压力，向石英反应管内通入含氧气体，设定生长时间，在衬底上沉积氧化物薄膜，完成制备。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
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C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
