[发明专利]一种移相单元及其构成的MEMS太赫兹移相器在审
| 申请号： | 201410033579.1 | 申请日： | 2014-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN103746157A | 公开（公告）日： | 2014-04-23 |
| 发明（设计）人： | 杜亦佳;苏伟;陈樟;熊永忠 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院电子工程研究所 |
| 主分类号： | H01P1/18 | 分类号： | H01P1/18;H01Q3/30;H01Q3/36;B81B3/00;B81B7/00 |
| 代理公司： | 成都顶峰专利事务所(普通合伙) 51224 | 代理人： | 杨俊华 |
| 地址： | 621054*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种移相单元及其构成的MEMS太赫兹移相器，主要解决了现有太赫兹移相器寄生参数过多、工艺敏感性强、驱动电压过大等问题。该移相单元包括基底，设置在基底相对两侧的CPW信号线地线，开设于CPW信号线地线相对端的凹槽，通过该凹槽插入CPW信号线地线之中的具有开路终端的CPW信号线，两端分别与具有开路终端的CPW信号线连接的MEMS可动梁，以及设置于基底上并位于MEMS可动梁下方的CPW信号线；在其中一条CPW信号线地线上沿其长度方向开设有与该CPW信号线地线上的凹槽连通的槽，槽内放置有静电驱动偏置线，该静电驱动偏置线的一端连接具有开路终端的CPW信号线，另一端连接有偏置电极正极焊盘；CPW信号线与具有开路终端的CPW信号线共用CPW信号线地线。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单元 及其 构成 mems 赫兹 移相器 | ||
【主权项】：
一种移相单元，其特征在于，包括基底（1），设置在基底（1）相对两侧的CPW信号线地线（2），开设于两条CPW信号线地线（2）相对端的凹槽，通过该凹槽插入CPW信号线地线（2）之中的具有开路终端的CPW信号线（4），两端分别与两条具有开路终端的CPW信号线（4）连接的MEMS可动梁（5），以及设置于基底上并位于MEMS可动梁（5）下方的CPW信号线（3）；在其中一条CPW信号线地线（2）上沿其长度方向开设有与该CPW信号线地线（2）上的凹槽连通的槽，槽内放置有 静电驱动偏置线（6），该静电驱动偏置线（6）的一端连接与之相邻的具有开路终端的CPW信号线（4），另一端连接有偏置电极正极焊盘（7）；所述CPW信号线（3）与具有开路终端的CPW信号线（4）共用CPW信号线地线。
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