[发明专利]一种具有低热弹性阻尼结构的扭转式微机电谐振器件有效
| 申请号： | 201410001421.6 | 申请日： | 2014-01-02 |
| 公开（公告）号： | CN103780221B | 公开（公告）日： | 2017-03-22 |
| 发明（设计）人： | 李普;方玉明;台永鹏 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | H03H9/24 | 分类号： | H03H9/24 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙)32249 | 代理人： | 杨晓玲 |
| 地址： | 211189 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有低热弹性阻尼结构的扭转式微机电谐振器件，包括基底、设置在基底上的低热弹性阻尼结构、驱动电极和感应电极，以及由低热弹性阻尼结构支撑的扭转平板，低热弹性阻尼结构包括位于同一轴线上的、具有矩形截面的第一扭转支撑梁和第二扭转支撑梁，扭转平板能够绕第一扭转支撑梁和第二扭转支撑梁所在的轴线旋转，驱动电极和感应电极对称设置在低热弹性阻尼结构的轴线两侧，第一扭转支撑梁和第二扭转支撑梁的矩形截面的长边垂直于基底。本发明中扭转支撑梁横截面的长边保持垂直于基底平面，此时产生的热弹性阻尼是小于长边水平放置，尤其是高频时，热弹性阻尼明显下降。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 低热 弹性 阻尼 结构 扭转 式微 机电 谐振 器件 | ||
【主权项】：
一种具有低热弹性阻尼结构的扭转式微机电谐振器件，其特征在于，该器件包括基底（4）、设置在所述基底（4）上的低热弹性阻尼结构、驱动电极（5）和感应电极（6），以及由所述低热弹性阻尼结构支撑的扭转平板（1），所述低热弹性阻尼结构包括位于同一轴线上的、具有矩形截面的第一扭转支撑梁（2）和第二扭转支撑梁（3），扭转平板（1）能够绕第一扭转支撑梁（2）和第二扭转支撑梁（3）所在的轴线旋转，所述驱动电极（5）和感应电极（6）对称设置在低热弹性阻尼结构的轴线两侧，即第一扭转支撑梁（2）和第二扭转支撑梁（3）所在的轴线两侧，所述第一扭转支撑梁（2）和第二扭转支撑梁（3）的矩形截面的长边垂直于基底（4）。
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