[发明专利]等离子体源在审
| 申请号： | 201380065446.6 | 申请日： | 2013-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN105144338A | 公开（公告）日： | 2015-12-09 |
| 发明（设计）人： | S·克拉斯尼特泽;J·哈格曼恩 | 申请（专利权）人： | 欧瑞康表面解决方案股份公司;特吕巴赫 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张涛;刘春元 |
| 地址： | 瑞士特*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
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| 摘要： | 本发明涉及一种等离子体产生装置，包括：-具有等离子体源空心体(1)和电子发射单元(5)的等离子体源，所述电子发射单元使得自由电子能够发射到等离子体源空心体之中，其中所述等离子体源空心体(1)具有第—气体入口(7a)和等离子体源开口(10)，所述等离子体源开口构成通向真空室的开口；-以及具有阳极空心体(2)的阳极，其中所述阳极空心体(2)具有第二气体入口(7b)和阳极开口(11)，所述阳极开口构成通向真空室的开口；-和电压源(8)，其负极与电子发射单元(5)相连并且其正极与阳极空心体(2)相连，其中所述电压源(8)的正极还通过第一分路电阻(6a)与等离子体源空心体电相连。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 | ||
【主权项】：
等离子体产生装置，包括‑具有等离子体源空心体(1)和电子发射单元(5)的等离子体源，所述电子发射单元使得自由电子能够发射到等离子体源空心体之中，其中所述等离子体源空心体(1)具有第一气体入口(7a)和等离子体源开口(10)，所述等离子体源开口构成通向真空室的开口，‑以及具有阳极空心体(2)的阳极，其中所述阳极空心体(2)具有第二气体入口(7b)和阳极开口(11)，所述阳极开口构成通向真空室的开口，‑和电压源(8)，所述电压源的负极与电子发射单元(5)相连并且所述电压源的正极与阳极空心体(2)相连，其特征在于，电压源(8)的正极还通过第一分路电阻(6a)与等离子体源空心体电相连。
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