[发明专利]改进的尾气回收方法和系统

摘要

方法，其包括：(a)将包含盐酸、四氯化硅、三氯甲硅烷和二氯甲硅烷的排出气体引导至包含金属催化剂的HCl转化器反应器，以提供与在排出气体中存在的盐酸相比更少盐酸的产物气体；(b)精制所述产物气体以提供氢气富集的流体和氯硅烷富集的流体和(c)将氯硅烷富集的流体引导至TCS/STC蒸馏装置以产生富含四氯化硅的部分和富含三氯甲硅烷和二氯硅烷的另外的部分。

主权项

方法，其包括：a)将包含氢气、氢氯硅烷和盐酸的排出气体引导至包含金属催化剂的HCl转化器反应器，并且使所述排出气体与金属催化剂接触以提供包含的盐酸比所述排出气体中存在的盐酸更少的产物气体，并且从所述反应器中去除所述产物气体；b)分离所述产物气体的组分以提供富含氢气的第一部分和富含氯硅烷的第二部分；以及c)将所述第二部分引导至蒸馏装置，以产生富含三氯甲硅烷(TCS)和二氯甲硅烷(DCS)的第三部分和富含四氯化硅(STC)的第四部分。