[发明专利]玻璃基板的精研磨方法及利用该方法进行了精研磨的无碱玻璃基板

摘要

本发明涉及一种玻璃基板的精研磨方法，使用含有二氧化铈作为研磨磨粒的研磨浆料对玻璃基板的主面进行研磨，其中，所述玻璃基板的组成为下述的无碱玻璃，所述精研磨方法包括在下述条件下进行研磨的阶段：在将所述玻璃基板的主面的起伏换算为20mm间距的起伏而得到起伏的高度从0.14μm变化至0.10μm时的所述玻璃基板的研磨量设为X(μm)时，使0.04/X为0.12以上，所述无碱玻璃的应变点为710℃以上，50～350℃下的平均热膨胀系数为30×10^-7～43×10^-7/℃，玻璃粘度达到10²dPa·s时的温度T₂为1710℃以下，玻璃粘度达到10⁴dPa·s时的温度T₄为1320℃以下，以基于氧化物的摩尔％计，含有SiO₂：66～70、Al₂O₃：12～15、B₂O₃：0～1.5、MgO：大于9.5且为13以下、CaO：4～9、SrO：0.5～4.5、BaO：0～1、ZrO₂：0～2，MgO+CaO+SrO+BaO为17～21，MgO/(MgO+CaO+SrO+BaO)为0.40以上，MgO/(MgO+CaO)为0.40以上，MgO/(MgO+SrO)为0.60以上。

主权项

一种玻璃基板的精研磨方法，使用含有二氧化铈作为研磨磨粒的研磨浆料对玻璃基板的主面进行研磨，其中，所述玻璃基板的组成为下述的无碱玻璃，所述精研磨方法包括在下述条件下进行研磨的阶段：在将所述玻璃基板的主面的起伏换算为20mm间距的起伏而得到的起伏的高度从0.14μm变化至0.10μm时的所述玻璃基板的研磨量设为X(μm)时，使0.04/X为0.12以上，所述无碱玻璃的应变点为710℃以上，50～350℃下的平均热膨胀系数为30×10^‑7～43×10^‑7/℃，玻璃粘度达到10²dPa·s时的温度T₂为1710℃以下，玻璃粘度达到10⁴dPa·s时的温度T₄为1320℃以下，以基于氧化物的摩尔％计，含有MgO+CaO+SrO+BaO为17～21，MgO/(MgO+CaO+SrO+BaO)为0.40以上，MgO/(MgO+CaO)为0.40以上，MgO/(MgO+SrO)为0.60以上。