[发明专利]玻璃层叠体和电子器件的制造方法有效
申请号: | 201380028101.3 | 申请日: | 2013-05-13 |
公开(公告)号: | CN104349894A | 公开(公告)日: | 2015-02-11 |
发明(设计)人: | 秋田阳介;松山祥孝;江畑研一;内田大辅 | 申请(专利权)人: | 旭硝子株式会社 |
主分类号: | B32B9/00 | 分类号: | B32B9/00;B32B17/06;G02F1/1333;G09F9/00;H01L51/50;H05B33/02;H05B33/10 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;李茂家 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明的目的在于提供玻璃层叠体,其即便在高温条件下进行长时间处理后,也能够容易地将玻璃基板剥离。本发明涉及玻璃层叠体,其包括:带有无机层的支撑基板和玻璃基板,所述带有无机层的支撑基板包括支撑基板、以及配置于支撑基板上的、含有选自由金属硅化物、氮化物、碳化物及碳氮化物组成的组中的至少一种的无机层;所述玻璃基板可剥离地层叠于无机层上。 | ||
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【主权项】:
一种玻璃层叠体,其包括:带有无机层的支撑基板,其包括支撑基板、以及配置于所述支撑基板上的、含有选自由金属硅化物、氮化物、碳化物及碳氮化物组成的组中的至少一种的无机层;以及玻璃基板,其可剥离地层叠于所述无机层上。
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