[发明专利]包括干涉仪和限定密集线谱的吸收介质的测量设备及其方法

摘要

一种测量设备包括可调谐激光二极管，被设计为激光束源，使得测量辐射的发射波长借助调谐参数的变化在波长范围内可变；限定波长范围内的吸收谱线的吸收介质；具有吸收介质的谱线图的存储器；确定吸收率的检测器；控制与评估单元，按根据以发射波长保持稳定的方式确定的吸收率的方式，借助至少一个调谐参数调节发射波长。该控制与评估单元按这样方式来设计，即，当执行校准模式时，谱线图中的方位靠样本测量随至少一个测量参数的变化来执行的事实实现，从样本测量导出样本测量结果，基于存储的谱线图比较样本测量结果与至少一个基准，在比较的背景下，至少用基准来协调样本测量结果，确定谱线图中的方位，确定和/或设置测量辐射的发射波长。

主权项

一种测距仪(1、90)，该测距仪(1、90)用于利用干涉仪(30)来确定与物体间的距离的变化，该干涉仪(30)用于生成针对与所述物体间的相应距离的干涉仪输出变量，所述测距仪(1、90)包括：·可调谐激光二极管(10、61)，该可调谐激光二极管(10、61)被具体实施为干涉仪激光束源，该干涉仪激光束源用于按这样的方式来生成测量辐射(11、96)，即，所述测量辐射(11、96)按纵向单模方式呈现，并且所述测量辐射(11、96)的发射波长通过改变至少一个调谐参数而在特定波长范围(82、85)内可变，·吸收介质，该吸收介质限定所述波长范围(82、85)内的多个已知吸收谱线，·存储器，该存储器具有用于所述吸收介质的存储的谱线图(81)，该谱线图在各个情况下指定针对所述波长范围(82、85)内的相应吸收波长的吸收强度，·检测器(65)，该检测器(65)用于确定所述吸收强度，以及·控制与评估单元(2)，该控制与评估单元(2)按这样的方式具体实施，即，当执行距离测量模式时，借助于所述至少一个调谐参数，根据所确定的吸收强度，按所述发射波长保持稳定的这种方式，来调节所述发射波长，并由此能够借助于所述干涉仪输出变量来确定与所述物体间的距离的变化，其特征在于，·所述控制与评估单元(2)还按这样的方式具体实施，即，当依靠以下步骤来执行校准模式时，在所述谱线图(81)中存在一方位：‑在所述控制与评估单元(2)的控制下，通过改变至少一个测量参数来执行限定的样本测量(71、84)，‑根据所述样本测量(71、84)导出样本测量结果(72)，‑对所述样本测量结果(72)与至少一个基准(73、74、83)进行比较(75)，所述至少一个基准基于所存储的谱线图(81)，并且对于所限定的样本测量(71)来说是已知的，其中，在所述比较的范围内对所述样本测量结果(72)至少与所述基准(73、74、83)进行比较，以及‑根据所述比较并且基于算法评估，来建立(76)所述谱线图(81)中的所述方位，以及·根据所述谱线图(81)中的所建立的方位，能够确定和/或设置(77)所述测量辐射(11、96)的所述发射波长，其中，当在所述控制与评估单元(2)的自动控制下使所述测距仪(1、90)进入操作时，执行所述校准模式，并且所述谱线图(81)中的在该过程中确定的所述方位被存储，用于执行所述测量模式。