[发明专利]蒸镀数据处理装置、有机EL器件的制造装置以及制造方法无效
| 申请号： | 201380013335.0 | 申请日： | 2013-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN104160784A | 公开（公告）日： | 2014-11-19 |
| 发明（设计）人： | 垣内良平;山本悟;山野隆义 | 申请（专利权）人： | 日东电工株式会社 |
| 主分类号： | H05B33/10 | 分类号： | H05B33/10;C23C14/24;H01L51/50;H05B33/12 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够对在输送着的基材上连续形成的有机EL元件确认各结构层的蒸镀状况的蒸镀数据处理装置、有机EL器件的制造装置以及制造方法。蒸镀数据处理装置具有：读取装置，其用于读取构成各有机EL元件的多个结构层中的、至少两个以上的结构层；处理部，其进行将利用该读取装置读取到的、位于上述基材的长度方向的相同位置的各结构层的数据作为规定的有机EL元件的数据集中起来的处理。 | ||
| 搜索关键词： | 数据处理 装置 有机 el 器件 制造 以及 方法 | ||
【主权项】：
一种蒸镀数据处理装置，其对通过在被输送的带状的基材上蒸镀气化材料而沿上述基材的长度方向并列形成的多个有机EL元件的蒸镀数据进行处理，其特征在于，该蒸镀数据处理装置具有：读取装置，其用于读取构成上述各有机EL元件的多个结构层中的、至少2个以上的结构层；处理部，其进行将利用该读取装置读取到的、位于上述基材的长度方向的相同位置的各结构层的数据作为规定的有机EL元件的数据集中起来的处理。
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