[发明专利]微机电系统(MEMS)多轴陀螺仪Z轴电极结构

摘要

本发明公开了各种实例，包括用于对运动进行感应的微机电管芯，所述微机电管芯包括与不对称定子电极交错接合的对称质量块电极。这些实例中的一些包括围绕与所述电极在其中设置的所述平面正交的轴弯曲的电极。一个实例提供垂直挠曲部，所述垂直挠曲部以允许围绕水平轴挠曲的方式将内环架耦合到质量块。

主权项

一种用于对运动进行感测的微机电管芯，包括：基板；质量块，所述质量块在锚处耦合至所述基板，所述质量块包括：第一部分，所述第一部分可相对于所述锚移动，所述第一部分包括第一质量块电极；以及第二部分，所述第二部分相对于所述锚而与所述第一部分相对，所述第二部分可相对于所述锚和所述第一部分移动，所述第二部分包括第二质量块电极；第一定子，所述第一定子耦合至所述基板并且包括第一定子电极，所述第一定子电极在所述质量块的所述第一部分的所述第一质量块电极旁边延伸以形成第一电极对；以及第二定子，所述第二定子耦合至所述基板并且包括第二定子电极，所述第二定子电极与所述第一定子电极相对并且在所述质量块的所述第二部分的所述第二质量块电极旁边延伸以形成第二电极对；其中在第一振动模式中，其中所述质量块的所述第一部分移动远离所述质量块的所述第二部分，所述质量块、所述第一定子电极和所述第二定子电极被布置为使得所述第一电极对的电极之间的距离与所述第二电极对的电极之间的距离成反比。