[实用新型]一种硒源蒸发装置有效
| 申请号： | 201320851998.7 | 申请日： | 2013-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN203639543U | 公开（公告）日： | 2014-06-11 |
| 发明（设计）人： | 赵岳;王赫;张超;邓朝文;张翰明;赵彦民;乔在祥 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十八研究所 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 天津市鼎和专利商标代理有限公司 12101 | 代理人： | 李凤 |
| 地址： | 300384 天津*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种硒源蒸发装置，包括带有加热丝的炉体，炉体外壁自上至下套有顶部壳体和底部壳体，其特点是：所述顶部壳体和底部壳体的内壁上均制有螺旋状凹槽，所述加热丝置于凹槽内；顶部壳体和底部壳体的外壁均置于壳体支架中，所述壳体支架底部固装有底盘，壳体支架内底盘和炉体之间置有套在屏蔽层支撑柱上的屏蔽层；底盘下面通过支撑杆固定在电控器上。本实用新型采用了内壁上制有螺旋状凹槽的上、下壳体套在炉体外壁，加热丝置于凹槽内，使加热丝有了固定的位置，炉体的取放不会造成对加热丝的影响，有效延长了加热丝使用寿命的同时，也扩大了加热丝材质的选择范围；由于加热丝与物料炉体接触更为紧密，提高了加热丝的加热效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸发 装置 | ||
【主权项】：
一种硒源蒸发装置，包括带有加热丝的炉体，炉体外壁自上至下套有顶部壳体和底部壳体，其特征在于：所述顶部壳体和底部壳体的内壁上均制有螺旋状凹槽，所述加热丝置于凹槽内；顶部壳体和底部壳体的外壁均置于壳体支架中，所述壳体支架底部固装有底盘，壳体支架内底盘和炉体之间置有套在屏蔽层支撑柱上的屏蔽层；底盘下面通过支撑杆固定在电控器上。
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