[实用新型]一种用于碳化硅单晶定位边定向的夹具有效
| 申请号： | 201320773012.9 | 申请日： | 2013-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN203542884U | 公开（公告）日： | 2014-04-16 |
| 发明（设计）人： | 赵梅玉;段聪;邓树军;高宇;陶莹 | 申请（专利权）人： | 河北同光晶体有限公司 |
| 主分类号： | B28D7/04 | 分类号： | B28D7/04 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 杨立 |
| 地址： | 071000 河北省保定市北二*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于碳化硅单晶定位边定向的夹具，夹具主体放置在定向仪精度样品台上，夹具主体大致呈长方体形，其顶部的一角为一个正方体形的凹陷，在正方体形的凹陷中放置有晶体，晶体的顶部设有平行精度铁，缓冲层覆盖在平行精度铁上，盖板完整的覆盖在夹具主体和缓冲层上，紧定螺钉贯穿盖板并能延伸至缓冲层，夹具主体靠近正方体形凹陷的一侧设有紧贴其上的平行块，定向仪精度立板紧贴于平行板的外侧。本实用新型属于适用于分体式碳化硅单晶晶体加工工艺的辅助配件，可以有效的提高整条工艺设备的投入、产出比，提高设备有效时间占比，显著降低设备的投入，降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 碳化硅 定位 定向 夹具 | ||
【主权项】：
一种用于碳化硅单晶定位边定向的夹具，其特征在于，包括定向仪精度样品台（1）、夹具主体（2）、盖板（3）、紧定螺钉（4）、平行精度铁（5）、缓冲层（6）、晶体（7）、平行快（8）、定向仪精度立板（9），所述夹具主体（2）放置在定向仪精度样品台（1）上，所述夹具主体（2）大致呈长方体形，其顶部的一角为一个正方体形的凹陷，在所述正方体形的凹陷中放置有晶体（7），所述晶体（7）的顶部设有平行精度铁（5），所述缓冲层（6）覆盖在平行精度铁（5）上，所述盖板（3）完整的覆盖在夹具主体（2）和缓冲层（6）上，所述紧定螺钉（4）贯穿盖板（3）并能延伸至缓冲层（6），所述夹具主体（2）靠近正方体形凹陷的一侧设有紧贴其上的平行块（8），所述定向仪精度立板（9）紧贴于平行板（8）的外侧。
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