[实用新型]一种光刻胶离心涂布机用卡盘有效
| 申请号： | 201320620146.7 | 申请日： | 2013-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN203520010U | 公开（公告）日： | 2014-04-02 |
| 发明（设计）人： | 胡泰祥 | 申请（专利权）人： | 元茂光电科技（武汉）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 张大威 |
| 地址： | 430074 湖北省*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提出一种光刻胶离心涂布机用卡盘，包括卡盘本体1、吸嘴3，所述卡盘本体具有卡盘真空通道2，所述吸嘴具有吸嘴真空通道32；所述吸嘴设置在所述卡盘本体上，所述吸嘴真空通道与所述卡盘真空通道相通；所述吸嘴还设置有吸盘31，所述吸盘具有凹面，所述凹面与所述吸嘴真空通道相通。由于设置了凹面吸嘴，与AlGaAs外延片的弧形可以紧密地配合，从而保证了卡盘内的真空度，确保卡盘本体旋转时AlGaAs外延片不会被甩出去造成产品损失。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 离心 涂布机用 卡盘 | ||
【主权项】：
一种光刻胶离心涂布机用卡盘，其特征在于，包括卡盘本体（1）、吸嘴（3），所述卡盘本体具有卡盘真空通道（2），所述吸嘴具有吸嘴真空通道（32）；所述吸嘴设置在所述卡盘本体上，所述吸嘴真空通道与所述卡盘真空通道相通；所述吸嘴还设置有吸盘（31），所述吸盘具有凹面，所述凹面与所述吸嘴真空通道相通。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于元茂光电科技（武汉）有限公司，未经元茂光电科技（武汉）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201320620146.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种嵌入式智能量热仪
- 下一篇：一种石膏线自动生产系统
