[实用新型]一种单轴MEMS电容式陀螺仪

摘要

本实用新型公开了一种单轴MEMS电容式陀螺仪，包括扭动质量块、平动质量块、各锚点和驱动、检测以及敏感电容组，其中电容组的固定和可动梳齿具有沿z轴方向的高低差；驱动、检测电容组的固定梳齿通过相应锚点固定在基底上，可动梳齿与平动质量块连接；敏感电容组的固定梳齿通过敏感锚点固定在基底上，可动梳齿通过外周弹性梁与扭动质量块连接；平动质量块的一端通过弹性梁与相应锚点相连接，其另一端通过弹性梁连接扭动质量块；位于扭动质量块中心位置处的中心锚点通过中部弹性梁与扭动质量块相连接。本实用新型涉及的陀螺仪具有结构简单，对于单向运动的角速度测量结果误差较小的特点。

主权项

一种单轴MEMS电容式陀螺仪，其特征在于：包括扭动质量块、平动质量块、驱动电容组，检测电容组，敏感电容组，锚点以及弹性梁，定义以扭动质量块的中心为原点的笛卡尔坐标系的x轴的正向指向右侧，y轴的正向指向上侧，其中所述各电容组包括固定梳齿和可动梳齿，并且各电容组的固定梳齿和可动梳齿具有沿z轴方向的高低差；所述各电容组包括至少一对驱动电容组、至少一对检测电容组和至少一对敏感电容组，每对两个驱动电容组的固定梳齿分别通过与所述驱动电容组相对应的驱动锚点固定在基底上，所述驱动电容组的可动梳齿分别连接至与该驱动电容组相对应的平动质量块的外侧壁，所述驱动锚点被配置为一对驱动电极；每对两个检测电容组的固定梳齿分别通过与所述检测电容组相对应的检测锚点固定在所述基底上，所述检测电容组的可动梳齿分别连接至与该检测电容组相对应的平动质量块的外侧壁，所述检测锚点被配置为一对检测电极；每对两个敏感电容组的固定梳齿分别通过与所述敏感电容组相对应的敏感锚点固定在所述基底上，所述敏感电容组的可动梳齿通过外周弹性梁与扭动质量块连接，所述敏感电容组的可动梳齿还通过固定弹性梁与各固定锚点连接，所述敏感锚点被配置为一对敏感电极；以及，位于扭动质量块中心位置处的中心锚点通过中部弹性梁与扭动质量块相连接，平动质量块的一侧通过第一弹性梁与扭动质量块相连接，平动质量块的另外一侧通过第二弹性梁连接到与之对应的锚点。