[实用新型]太阳能硅片腐蚀稳定、均匀的提篮有效
申请号: | 201320564772.9 | 申请日: | 2013-09-11 |
公开(公告)号: | CN203423152U | 公开(公告)日: | 2014-02-05 |
发明(设计)人: | 梁海;毛仕平;何云海 | 申请(专利权)人: | 浙江启鑫新能源科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L21/67;H01L31/18 |
代理公司: | 宁波市鄞州甬致专利代理事务所(普通合伙) 33228 | 代理人: | 代忠炯 |
地址: | 315700 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开一种太阳能硅片腐蚀稳定、均匀的提篮,包括篮体,篮体包括底板和与底板连接的四个侧壁;底板上设有若干第一通孔;四个侧壁分为左右对称的左侧壁和右侧壁,前后对称的前侧壁和后侧壁;四个侧壁上均设有第二通孔;所述的前侧壁和后侧壁的外侧面上对称设有提手,前侧壁和后侧壁的底部对称设有卡槽。采用上述结构,当将提篮放置于腐蚀溶液中,卡槽就与放置腐蚀溶液的容器中的卡条相互卡紧,提篮不至于在腐蚀溶液中左右滑动,影响硅片腐蚀效果;此外,提手的设置,当放置满硅片整体重量比较重的情况下,可以通过机械手等夹具夹紧提手将提篮方便的移动,省时、省力;另外,当机械手不好操作时,还可以方便的通过人工握持提手方便搬运。 | ||
搜索关键词: | 太阳能 硅片 腐蚀 稳定 均匀 提篮 | ||
【主权项】:
一种太阳能硅片腐蚀稳定、均匀的提篮,包括篮体,所述的篮体包括底板(1)和与底板(1)连接的四个侧壁;所述的底板(1)上设有若干供腐蚀溶液穿过的第一通孔(1.1);所述的四个侧壁分为左右对称的左侧壁(2)和右侧壁(3),前后对称的前侧壁(4)和后侧壁(5);所述的四个侧壁上均设有供腐蚀溶液穿过的第二通孔(6);其特征在于:所述的前侧壁(4)和后侧壁(5)的外侧面上对称设有提手(10),所述的前侧壁(4)和后侧壁(5)的底部对称设有卡槽(9)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江启鑫新能源科技股份有限公司,未经浙江启鑫新能源科技股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201320564772.9/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造