[实用新型]基板切割面辅助检测治具有效
| 申请号： | 201320519830.6 | 申请日： | 2013-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN203465185U | 公开（公告）日： | 2014-03-05 |
| 发明（设计）人： | 郭理超;王雷 | 申请（专利权）人： | 昆山龙腾光电有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G01N21/84 |
| 代理公司： | 上海波拓知识产权代理有限公司 31264 | 代理人： | 杨波 |
| 地址： | 215301 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 基板切割面辅助检测治具包括底板和第一反射元件。底板包括承载面，承载面具有基板承载区域，基板承载区域具有第一侧边。第一反射元件设置于承载面上，位于基板承载区域外并靠近第一侧边。第一反射元件具有朝向基板承载区域的第一反射面，且第一反射面与承载面具有第一夹角。基板切割面辅助检测治具用于承载待检测基板，并配合显微镜简单方便的对待检测基板的切割面进行检测，有利于节约成本，并有利于检测切割面的真实切割情况。 | ||
| 搜索关键词： | 切割 辅助 检测 | ||
【主权项】：
一种基板切割面辅助检测治具，其特征在于，该检测治具包括：底板，包括承载面，该承载面具有基板承载区域，该基板承载区域具有第一侧边；以及第一反射元件，设置于该承载面上，位于该基板承载区域外并靠近该第一侧边，该第一反射元件具有朝向该基板承载区域的第一反射面，且该第一反射面与该承载面具有第一夹角。
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