[实用新型]导电玻璃超低温循环镀膜装置有效
| 申请号： | 201320510906.9 | 申请日： | 2013-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN203419980U | 公开（公告）日： | 2014-02-05 |
| 发明（设计）人： | 冯新伟 | 申请（专利权）人： | 江苏津通先锋光电显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人： | 王凌霄 |
| 地址： | 213164 江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种导电玻璃超低温循环镀膜装置，包括镀膜单元，所述镀膜单元至少为首尾相连的两个，镀膜单元包括垂直设置的冷却水槽、贴合设置在冷却水槽侧面的永磁铁，与永磁铁正面相对设置有铜质的靶材基座，朝向永磁铁的靶材基座内表面设有与永磁铁位置对应的靶材，待镀膜的导电玻璃位于永磁铁与靶材之间，靶材基座外表面设有回旋布置的电加热管，所述电加热管连接有用于控制镀膜温度的温控系统。本实用新型通过设置至少两个首尾相连的镀膜单元，且控制每个镀膜单元的镀膜温度在160℃左右，实现了导电玻璃镀膜时低温一次性连续多次镀膜，使得镀膜后的膜层厚度达到设计要求，有效地提高和稳定了镀膜膜层的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 导电 玻璃 超低温 循环 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
一种导电玻璃超低温循环镀膜装置，包括镀膜单元，其特征是：所述镀膜单元至少为相连的两个，镀膜单元包括垂直设置的冷却水槽（1）、贴合设置在冷却水槽（1）侧面的永磁铁（2），与永磁铁（2）正面相对设置有铜质的靶材基座（3），朝向永磁铁（2）的靶材基座（3）内表面设有与永磁铁（2）位置对应的靶材（4），待镀膜的导电玻璃（7）位于永磁铁（2）与靶材（4）之间，靶材基座（3）外表面设有回旋布置的电加热管（5），所述电加热管（5）连接有用于控制镀膜温度的温控系统（6）。
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