[实用新型]真空室机械臂有效
| 申请号： | 201320390852.7 | 申请日： | 2013-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN203331034U | 公开（公告）日： | 2013-12-11 |
| 发明（设计）人： | 江昌翰;钟尚骅;黄德伦 | 申请（专利权）人： | 上海和辉光电有限公司 |
| 主分类号： | B25J15/00 | 分类号： | B25J15/00 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 赵根喜;吕俊清 |
| 地址： | 201500 上海市金山区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种真空室机械臂，包括设于本体上的两个末端执行器；所述两个末端执行器的根部外侧设有两个向外延伸的支撑架。在真空室机械臂前后增加了支撑点，使玻璃基板在机械臂上的弯曲变形量减少，使玻璃基板在真空室设备内运行时，减少玻璃基板遇热弯曲变形所造成破片和刮伤的风险。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 机械 | ||
【主权项】：
一种真空室机械臂，具有设于本体上的两个末端执行器；其特征在于，所述两个末端执行器的根部外侧设有两个向外延伸的支撑架。
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