[实用新型]特气管路装置和PECVD设备

摘要

本实用新型提供了一种特气管路装置和PECVD设备。特气管路装置包括特气槽和至少一路特气管路，特气管路均设置在特气槽的下方，每路特气管路包括：多组分支特气管路，多组分支特气管路沿特气槽的长度方向布置并沿特气槽的长度方向排列；多个流量计，多个流量计与多组分支特气管路一一对应地设置。当硅片出现片间色差时，工作人员可以通过调节某一流量计，而控制相应的分支特气管路的进气量，从而使每个分支特气管路的排气量具有可调性，进而控制或减小各硅片的片间色差，提高了产品的成品率。由于不再需要频繁对特气管路装置进行维护，因而保证了生产进度、提高了工作效率、降低了设备维护成本。

主权项

一种特气管路装置，包括特气槽（10）和至少一路特气管路，所述特气管路均设置在所述特气槽（10）的下方，其特征在于，每路所述特气管路包括：多组分支特气管路（20），多组所述分支特气管路（20）沿所述特气槽（10）的长度方向布置并沿所述特气槽（10）的长度方向排列；多个流量计（30），多个所述流量计（30）与多组所述分支特气管路（20）一一对应地设置。