[实用新型]粘靶设备有效
| 申请号： | 201320241969.9 | 申请日： | 2013-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN203295597U | 公开（公告）日： | 2013-11-20 |
| 发明（设计）人： | 阳威;张迅;彭顺明;欧阳小园;易伟华 | 申请（专利权）人： | 江西沃格光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 吴平 |
| 地址： | 338004 江西省*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种粘靶设备，包括加热台面和翻转型隔热装置，所述翻转型隔热装置旋转连接于所述加热台面的底部，所述加热台面设有固定孔，所述翻转型隔热装置上还安装有固定部，所述翻转型隔热装置通过所述固定部插入所述固定孔贴合于所述加热台面。上述粘靶设备，在加热台面底部安装有翻转型隔热装置，在粘靶作业完成后的降温过程中，将翻转型隔热装置翻转至脱离加热台面的状态，使得加热台面降温速度加快；当在粘靶作业的升温过程中，将翻转型隔热装置翻转至紧贴于加热台面的状态，达到隔热保温的效果，防止热量扩散，使得加热台面升温速度加快，同时节省电能，相比于传统的粘靶设备，上述粘靶设备有效提高了粘靶效率及电能节约。 | ||
| 搜索关键词： | 设备 | ||
【主权项】：
一种粘靶设备，包括加热台面，其特征在于，所述粘靶设备还包括翻转型隔热装置，所述翻转型隔热装置旋转连接于所述加热台面的底部，所述加热台面设有固定孔，所述翻转型隔热装置上还安装有固定部，所述翻转型隔热装置通过所述固定部插入所述固定孔贴合于所述加热台面。
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