[实用新型]粘靶设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及镀膜技术领域，特别是涉及一种粘靶设备。

背景技术

目前，许多工业产品表面都镀有功能薄膜以改善产品表面的各种性能，例如TFT-LCD(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display，薄膜场效应晶体管驱动的液晶显示器)表面也需要进行镀膜工艺。镀膜工艺的涉及到的基础硬件是粘靶设备，传统粘靶设备的加热台面底部可能安装有不可拆卸的隔热装置，而有的粘靶设备的加热台面底部没有安装隔热装置。

使用加热台面底部安装有不可拆卸的隔热装置的粘靶设备进行粘靶作业时，在粘靶作业的降温过程中，由于隔热装置对热量扩散的阻碍，加热台面降温速度慢，导致降温过程耗费的时间较长，严重影响粘靶作业的效率。而使用加热台面底部没有安装隔热装置的粘靶设备进行粘靶作业时，在粘靶作业的升温过程中，由于没有隔热装置阻碍热量的扩散，在升温过程中热能流失大，导致加热台面升温速度慢，影响粘靶作业的效率和造成电能的浪费。

实用新型内容

基于此，有必要提供一种能够有效提高粘靶作业的效率且节约电能的粘靶设备。

一种粘靶设备，包括加热台面，所述粘靶设备还包括翻转型隔热装置，所述翻转型隔热装置旋转连接于所述加热台面的底部，所述加热台面设有固定孔，所述翻转型隔热装置上还安装有固定部，所述翻转型隔热装置通过所述固定部插入所述固定孔贴合于所述加热台面。

在其中一个实施例中，所述翻转型隔热装置通过合页旋转连接于所述加热台面的底部。

在其中一个实施例中，所述固定孔为插销孔，所述固定部为与所述插销孔适配的锁紧插销。

在其中一个实施例中，所述翻转型隔热装置包括外框，所述外框设置有槽形结构，所述外框的槽形结构内填充有热绝缘材料。

在其中一个实施例中，所述粘靶设备还包括用于支撑所述加热台面的支撑架，所述加热台面固定于所述支撑架上。

在其中一个实施例中，所述粘靶设备还包括加热器，所述加热器连接于所述加热台面，用于为所述加热台面加热。

在其中一个实施例中，所述粘靶设备还包括探温器，所述探温器连接于所述加热台面，用于探测所述加热台面的温度。

在其中一个实施例中，所述粘靶设备还包括用于将铜背板固定在所述加热台面上的压条夹具，所述压条夹具连接于所述加热台面的上表面。

在其中一个实施例中，所述压条夹具上开设有等距离的通孔，所述加热台面安装有与所述通孔对应的丝套，所述压条夹具通过所述丝套勾紧所述通孔紧固于所述加热台面。

上述粘靶设备，在加热台面底部安装有翻转型隔热装置，在粘靶作业的降温过程中，将翻转型隔热装置翻转至脱离加热台面的状态，使得加热台面降温速度加快；当在粘靶作业的升温过程中，将翻转型隔热装置翻转至紧贴于加热台面的状态，达到隔热保温的效果，防止热量扩散，使得加热台面升温速度加快，同时节省电能，相比于传统的粘靶设备，上述粘靶设备可以有效提高粘靶作业的效率且节约电能。

附图说明

图1为一个实施例的粘靶设备的正视图；

图2为一个实施例的粘靶设备的俯视图。

具体实施方式

为了解决目前粘靶设备严重影响粘靶作业的效率且浪费电能的问题，本实施方式提供了一种粘靶设备。下面结合具体的实施例，对粘靶设备进行具体的描述。

请参考图1和图2，本实施方式提供的粘靶设备100，包括加热台面110、翻转型隔热装置120、支撑架130、加热器140、探温器150、压条夹具160以及丝套170。

加热台面110主要用于放置靶材，并且加热台面110可以将热量传递至靶材。

翻转型隔热装置120安装于加热台面110的底部，并且翻转型隔热装置120的一条侧边与加热台面110通过合页旋转连接。可以理解的是，翻转型隔热装置120与加热台面110也可以通过其他方式连接，只要翻转型隔热装置120能够按照工艺需要离开或紧贴于加热台面110。加热台面110设有固定孔，翻转型隔热装置120对应安装有固定部122，当翻转型隔热装置120通过合页旋转紧贴于加热台面110时，将固定部122插入固定孔即可锁定翻转型隔热装置120与加热台面110的贴合状态。当翻转型隔热装置120需要离开加热台面110时，将固定部122从固定孔拔出，翻转型隔热装置120即可自动脱离加热台面110。在本实施方式中，固定孔具体为插销孔，固定部122为与插销孔适配的锁紧插销。